加速度计制造技术

本发明专利技术加速度计是线性的，具有基本为平面的板状校验块（９），其中，校验块通过４个或更多个挠性安装脚（８）安装到基本为平面的板状支座（１０）上，每个安装脚都与校验块（９）同平面；支座（１０）相对于校验块（９）而言固定地安装并且与校验块（９）同平面。校验块（９）以此方式安装，在包含校验块（９）、安装脚（８）和支座（１０）的平面内沿检测方向作直线运动，以检测作用到加速度计的加速度变化。设置至少两个间隔开的基本为平面的电容极板（１１），用于检测所述校验块（９）沿检测方向Ｃ的直线运动，其中每个电容极板（１１）与校验块、安装脚和支座同平面。校验块（９）、安装脚（８）、支座（１０）及电容极板（１１）由单个硅板形成，并且安装脚（８）在基本与检测方向Ｃ垂直的方向上延伸。设置回复装置，用于使校验块（９）沿检测方向Ｃ返回零位。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种加速度计并具体地涉及一种至少部分用硅制成的加速度计。如附附图说明图1所示的常规石英和硅加速度计具有大块加工过的(温式蚀刻的)石英或者硅结构，该结构沿直线变细以形成铰链1，并且在该结构的一侧上具有成摆锤状的校验块2。该结构通常以具有两个固定电容极板3的夹层形状来实施，其中，电容极板3位于可移动校验块2的每一侧上，校验块2铰接在支座4的1上，电容极板3安装在支座4上。对于在图1中A方向上的加速度，校验块2绕着铰链1弧形偏转，其偏转量与加速度成正比，A方向与硅或石英晶片和校验块2的平面垂直。通常用静电检测此运动，并且，使用校验块上的金属缠绕线圈，利用电磁反馈施加回复力以使校验块2方便地回到零位。静电力也可用于反馈。当校验块未移动时，反馈提高在强力下的比例因子线性。高准确度的加速度计通常为闭环。这种常规加速度计可在大重力范围内提供高准确度，但是一般制造昂贵并且尺寸相对较大。另外，由于该结构为悬摆结构，因此，校验块2的运动是弧形的，这引起振动摆性，而振动摆性导致在振动下的横轴灵敏度。在这种或其它型式常规加速度计中普遍存在的另一个问题是振动校正。这意味着在有振动却无静态重本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度计，其中具有：基本为平面的板状校验块；四个或更多的挠性安装脚，每个安装脚都与校验块同平面；基本为平面的板状支座，其中相对于校验块而言，支座固定地安装且与之同平面；每个安装脚一端连接到校验块且另一端连接到支座，以便校 验块安装在包含校验块、安装脚和支座的平面内，响应作用到加速度计上的加速度变化而沿检测方向作直线运动，并且，安装脚在基本与检测方向正交的方向上延伸；至少两个间隔开的基本为平面的电容极板，其中，每个电容极板与校验块、安装脚和支座同平面，用于 检测所述校验块沿检测方向的直线运动，校验块、安装脚、支座和电容极板由单个硅板形成；以及用于使校验块沿...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：阿兰理查德马尔文，艾恩戴维霍普金，凯文唐三德，尼古拉斯弗兰斯德鲁伊，
申请(专利权)人：BAE系统公共有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]