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采用微机械部件测量加速度的装置。一实施例有一个或多个加速度部件，每个部件有一片状物，并用一柔性铰链在其两端悬置该片状物。响应于加速度，片状物可绕轴沿第一和第二转动方向偏转。每个部件还有电极，当片状物沿任一方向偏转时，用电极来感知片状物的偏转...
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