振子的支撑机构以及振子组件制造技术

本发明专利技术提供一种振子的支撑机构以及振子组件。其被设置在基板上，用于将包括：通过自身的振动，对应被施加的旋转向第１方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第１方向相同或垂直的第２方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，所述支撑机构沿着在所述第１方向及所述第２方向中的至少１个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述１个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。由此，解决了在固定支撑陀螺振子的以往的支撑机构中所存在的驱动部的振动及检测部的振动受到限制或阻碍的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于支撑如用于检测物体的姿势、速度及位置的陀螺振子那样的振子的支撑机构，以及包括所述振子及所述支撑机构的振子组件。
技术介绍
上述的陀螺振子具有用于支撑在沿着一个方向进行的自身振动中对应由外部施加的旋转而作用哥氏力的驱动部、和为了检测出所述哥氏力而随着所述哥氏力振动的检测部的两个部分的支撑部。所述陀螺振子，通过将该支撑部支撑在被设置在用于载置所述陀螺振子的基板上的支撑机构上，而被载置在所述基板上。但是，上述的支撑机构由于是对所述陀螺振子构成固定的支撑，所以存在着所述陀螺振子的所述驱动部或检测部的振动受到限制或阻碍的问题。此外，如果单纯为了缓和所述振动的阻碍而降低所述支撑机构的刚性，则产生以耐冲击性为主的可靠性下降的问题。
技术实现思路
为了解决上述的问题，本专利技术之1的振子的支撑机构，被设置在基板上，用于将包括通过自身的振动，对应被施加的旋转向第1方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第1方向相同或垂直的第2方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，所述支撑机构沿着在所述第1方向及所述第2方向中的至少1个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述1个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。本专利技术之2的振子的支撑机构，其被设置在基板上，用于将包括通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，所述支撑机构沿着所述第1方向振动的固有谐振频率，比沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。本专利技术之3的振子的支撑机构，其被设置在基板上，用于将包括通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，所述驱动部被配置成与所述第3方向平行，并具有被配置成相互平行的棒状的第1驱动腕部和第2驱动腕部，所述检测部具有被配置成在所述第1驱动腕部及所述第2驱动腕部之间与所述两驱动腕部平行的棒状的检测腕部，所述振子还包括一端与所述第1驱动腕部的中心连接，另一端与所述第2驱动腕部的中心连接，中心与所述检测腕部的中心连接的与所述第1方向平行的棒状的腕支撑部，所述支撑机构具有沿着所述第3方向支撑所述支撑部的第1弹性机构，用于在连接所述腕支撑部及所述检测腕部的所述两部的中心支撑所述两部。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构还具有沿着所述第1方向支撑所述支撑部的第2弹性机构。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述支撑机构由所述第2弹性机构进行的沿着所述第1方向振动的固有谐振频率比由所述第1弹性机构进行的沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第2弹性机构的宽度比所述第1弹性机构的宽度窄。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构的各自的宽度相互不同。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构的各自的宽度不均等。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有缩颈部分。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有中空部分。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，所述第1弹性机构及所述第2弹性机构各自具有弯曲部分。本专利技术之3的振子的支撑机构，其特征在于，构成所述第1弹性机构的材料与构成所述第2弹性机构的材料之间具有使所述第2弹性机构的固有谐振频率低于所述第1弹性机构的固有谐振频率的关系。本专利技术的第一种振子组件，其特征在于，包括具有通过自身的振动，对应被施加的旋转向第1方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第1方向相同或垂直的第2方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子；用于设置所述振子的基板，和被设置在所述基板上，通过所述支撑部来支撑所述振子的所述支撑机构，所述支撑机构沿着在所述第1方向及所述第2方向中的至少1个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述1个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。本专利技术的第2种振子组件，其特征在于，包括具有通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子；用于设置所述振子的基板，和被设置在所述基板上，通过所述支撑部来支撑所述振子的所述支撑机构，所述支撑机构沿着所述第1方向振动的固有谐振频率，比沿着所述第3方向振动的固有谐振频率低。本专利技术的第3种振子组件，其特征在于，包括具有通过沿着所述第1方向的振动，对应以垂直于所述第1方向的第2方向为轴被施加的旋转向垂直于所述第1方向及所述第2方向的第3方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在沿着所述第1方向振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部；一端与所述第1驱动腕部的中心连接，另一端与所述第2驱动腕部的中心连接，中心与所述检测腕部的中心连接的与所述第1方向平行的棒状的腕支撑部的振子；其中所述驱动部被配置成与所述第3方向平行，并由被配置成相互平行的棒状的第1驱动腕部和第2驱动腕部构成，所述检测部由被配置成在所述第1驱动腕部及所述第2驱动腕部之间与所述两驱动腕部平行的棒状的检测腕部构成，用于设置所述振子的基板；和被设置在所述基板上，通过所述支撑部来支撑所述振子的支撑机构，由沿着所述第3方向支撑所述支撑部的弹性机构构成，用于在连接所述腕支撑部及所述检测腕部的所述两部的中心支撑所述两部。附图说明图1是表示配置了陀螺振子的实施例1的振子组件及其剖面的图。图2是表示驱动臂的动作的图。图3是表示驱动臂的动作与哥氏力的关系的图。图4是表示检测臂的动作的图。图5是表示实施例2的振子组件的图。图6是表示支撑实施例3的陀螺振子的引线结构的图。图7是表示实施例4的陀螺振子组件的结构的剖面图。图8是表示实施例4的其它振子组件的结构的俯视图。图中10-陀螺振子；11A-第1驱动臂；11B-第1驱动臂；12-检测臂；13-臂支撑部；14-支撑板；15A、15B-第1引线；16A、16B-第2引线；17支撑基板；18-开口部；100-振子组件。具体实施例方式下面，结合附图，对本专利技术的振子的支撑机构及支撑单元的实施例进行说明。图1(A)表示配置了陀螺振子的实施例1的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振子的支撑机构，其被设置在基板上，用于将包括：通过自身的振动，对应被施加的旋转向第１方向作用哥氏力的驱动部；为了检测出作用于所述驱动部的哥氏力的大小，对应所述哥氏力而在与所述第１方向相同或垂直的第２方向上振动的检测部；和用于支撑所述驱动部及所述检测部的支撑部的振子，设置成通过所述支撑部来支撑所述振子的状态，其特征在于，所述支撑机构沿着在所述第１方向及所述第２方向中的至少１个方向振动的固有谐振频率，比沿着所述１个方向以外的方向振动的固有谐振频率低。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：木下裕介，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]