加速度传感器制造技术

本发明专利技术提供一种以简单的构成在不使传感器灵敏度降低的情况下提高了耐冲击性的３轴加速度传感器。其是对相互正交的３个轴方向的加速度进行检测的加速度传感器，具有：使具有分别与３个轴对应的固定电极（４ｃ、４ｂ、４ａ）的电极基板（４）对置的电极基板对、作为可动电极起作用的振动板（２）、和安装在振动板（２）的中心部上的配重体（３）。基于固定电极与振动板（２）之间的静电电容的变化检测加速度。电极基板（４）设置有覆盖固定电极（４ｃ、４ｂ、４ａ）的表面的驻极体层（１），并且，在至少一个电极基板（４）的中央部上设置有贯通孔（７），伞状的配重体（１）的柄部经由贯通孔（７）从电极基板对的外侧连接到振动板（２）上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对相互正交的3个轴方向的加速度进行检测的的加速度传感器。
技术介绍
关于检测三维的、所谓X轴、Y轴、Z轴这3个轴方向的加速度的加速度传感器，提出有各种各样的方案。例如，在作为文献1引用的日本特开平10-10150号公报(图1至3、第7至22段)中，公开了基于相互面对的固定电极与可动电极之间的静电电容变化来检测加速度的加速度传感器的技术。根据该技术，在固定电极和可动电极中的某一个电极的、与另一个电极对置的面上设有驻极体膜。在可动电极的不与固定电极对置的一侧的面上备有配重体，以便在施加加速度时赋予可动电极位移。没有设置驻极体膜的另一个电极，被沿着以配重体的重心的投影位置为交点相互正交的正交轴分割。即，通过分割设置一个电极，来基于被分割的电极的静电电容变化，检测多个轴的加速度。文献1所公开的那样的驻极体电容器麦克风(ElectretCondenser Microphones)(下面，称之为“ECM”)型的加速度传感器或振动传感器，被用于计步器或振动计等各种各样的用途。希望它们与一般的传感器同样地具有高灵敏度。但是，在例如用于计步器等时大多由电池驱动，当然不能期待充足的电源本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器，对相互正交的３个轴方向的加速度进行检测，其包括：电极基板对，使在一个面上具有固定电极（４ｃ、４ｂ、４ａ）的两张电极基板（４）的前述固定电极彼此对置；振动板（２），其经由用于设置规定间隔的间隔件（５）而被夹持 在该电极基板对之间，作为可动电极起作用；和配重体（３），其重心与该振动板（２）的中心一致地安装；其中，以通过前述配重体（３）的重心并与前述电极基板（４）正交的轴作为第一轴，基于前述固定电极（４ｃ、４ｂ、４ａ）与前述可动电极（ ２）之间的静电电容的变化，对相互正交的前述第一轴、第二轴以及第三轴这３个轴方向的加速度进...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山本明，杉森康雄，
申请(专利权)人：星电株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]