下载加速度传感器的技术资料

文档序号:2625779

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本发明提供一种以简单的构成在不使传感器灵敏度降低的情况下提高了耐冲击性的3轴加速度传感器。其是对相互正交的3个轴方向的加速度进行检测的加速度传感器,具有:使具有分别与3个轴对应的固定电极(4c、4b、4a)的电极基板(4)对置的电极基板对、...
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