一种电容式MEMS加速度传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种电容式ＭＥＭＳ加速度传感器，其是由中间电极、上下电极构成的三明治式差动电容结构，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特点是中间可动电极的质量块中央开一个孔洞，中间电极的边框上加工多个缝隙。这样，当质量块做上下位移时，腔室中的空气可通中间电极的孔洞，并可从周边缝隙排出，可加强空气的流动，起到阻止质量块自由运动的作用。以减小阻尼，并起到降低噪音的作用。本发明专利技术结构简单，加工方便，可靠性高，可降低生产条件和成本，是一种理想的减小阻尼，降低噪音的电容式ＭＥＭＳ加速度传感器。

【技术实现步骤摘要】
一种电容式MEMS加速度传感器
本专利技术涉及一种地震传感装置，具体地说是一种电容式MEMS加速度传感器。
技术介绍
石油地震勘探中常用地震检波器，其阻尼调整方法是加阻尼环或调弹簧刚度、调整弹簧刚度，对灵敏度带来影响，加阻尼环是一种有效方法，当线圈在磁场中动动产生电流，而阻尼环产生一个反向磁场阻止线圈运动，起到阻尼作用。电容式MEMS加速度传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上电极、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁等，由中央可动电极和上下固定电极构成一个三明治结构受震后，中央电极发生位移引起上下电容量变化，阻尼产生在电容电极间有粘滞性气体，如空气。有的有氩气氮气等保护气体。这些气体在中央电极(质量块)振动时产生阻力。阻尼大，会减小传感器质因数QQ＝ω0m/b式中ω0为固有频率；m为中间质量块的质量；b为空气或填充气体阻尼。等效加速度的噪音anan＝4KbTω0/Mq式中Kb波尔兹曼常数，T为绝对温度。从以上二式降低噪音的有效途径一是增加质量块，二是提高品质因数Q，提高品质因数Q的有效办法就是减小阻尼b。减小阻尼还可采取真空办法，但真本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电容式ＭＥＭＳ加速度传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，由中间电极、上下电极构成三明治式差动电容结构，上电极、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特征在于：中间可动电极的质量块中央开一个孔洞，中间电极的边框上加工多个缝隙。

【技术特征摘要】
1、一种电容式MEMS加速度传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，由中间电极、上下电极构成三明治式差动电容结构，上电极、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜永安，于国良，唐晓刚，牛德芳，赵冰，孙中心，星学奎，张桂先，张乐巧，
申请(专利权)人：威海双丰物探设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：37[中国|山东]