多轴传感器单元及使用它的多轴传感器制造技术

本发明专利技术在降低功耗的同时，可以简化布线并降低成本。测量从外部施加的多个轴上的力、力矩、加速度和角加速度中的任何一个或多个参数的多轴传感器单元１０包括配置在一个平面上的８个应变计Ｒ１１～Ｒ２４和连接各应变计Ｒ１１～Ｒ２４形成的１个桥式电路１１。因此，与过去相比，减少了桥式电路１１和应变计Ｒ１１～Ｒ２４，在降低功耗的同时，简化了布线并降低了成本。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多轴传感器单元及使用它的多轴传感器
本专利技术涉及能够测量从外部施加给第1部件和第2部件的多个轴上的力、力矩、加速度和角速度中的任何一种的多轴传感器单元及使用它的多轴传感器。
技术介绍
作为这一类的多轴传感器，已知的有利用半导体的单结晶衬底检测力或力矩的装置。在专利文献1中公开了一种多轴传感器105，如图21、图22和图23A～C所示，包括具有设在中央的受力部100、设在周围的固定部101及连接它们的圆环状的隔膜部102的应变体103和由安装在该应变体103上的压电元件等构成的检测元件R11～R34。检测元件R11～R34设在各应变体103的上面。在各应变体103的上面设定以受力部100为中心相互正交的X轴和Y轴，以及它们中间倾斜的轴S。检测元件R11～R34配置在各轴上的隔膜部102的边缘部分。在该多轴传感器105中，为了测定X、Y、Z轴的3轴方向的力或力矩，由各检测元件R11～R34构成桥式电路。具体地说，利用X轴上的检测元件R11～R14构成图23A所示的桥式电路106，由此得到电压Vx。利用Y轴上的检测元件R21～R24构成图23B所示的桥式电路107，由此得到电压Vy。利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多轴传感器单元，测量从外部施加的多个轴上的力、力矩、加速度和角加速度中的任何一个或多个，其特征在于，具备配置在一个平面上的８个应变计和连接各应变计形成的１个桥式电路。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2003-9-30 341451/20031、一种多轴传感器单元，测量从外部施加的多个轴上的力、力矩、加速度和角加速度中的任何一个或多个，其特征在于，具备配置在一个平面上的8个应变计和连接各应变计形成的1个桥式电路。2、一种多轴传感器单元，测量从外部施加的多个轴上的力、力矩、加速度和角加速度中的任何一个或多个，其特征在于，具备配置在一个平面上的8个应变计和连接各应变计形成的2个桥式电路。3、权利要求1或2记载的多轴传感器单元，其特征在于，具有具备设在中央的受力部和设在外围的固定部及连接它们的圆环状的隔膜部的应变体，并且，上述应变计的配置位置是与上述隔膜的中心线正交的线上上述隔膜的外缘部和内缘部的4个位置及在与上述线正交的线上上述隔膜的外缘部和内缘部的4个位置。4、权利要求1～3中的任何一项记载的多轴传感器单元，其特征在于，上述应变计是由压阻元件或利用溅射法形成的应变计。5、一种多轴传感器，其特征在于，具备多个权利要求1～4中的任何一项记载的上述多轴传感器单元。6、权利要求5记载的多轴传感器，其特征在于，上述多轴传感器单元以上述多轴传感器的中心点为中...

【专利技术属性】
技术研发人员：森本英夫，
申请(专利权)人：新田株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]