扫描探针显微镜上的观察装置制造方法及图纸

一种扫描探针显微镜上的观察装置，包括： 〈１〉底座（１），置于底座（１）上有带探针针尖（１３０１）的扫描探针显微镜头部（１３）； 〈２〉有机壳（７），机壳（７）内置有光源（９），置有普通显微物镜（８）以及接收面（６０１）置放在普通显微物镜（８）像面（ｏ″）上的摄像头（６）； 其特征在于： 〈３〉固定在底座（１）上有不动立柱（２），在不动立柱（２）的顶端套有可动套筒（５），在可动套筒（５）套进不动立柱（２）的部位上有螺孔（５０１），在不动立柱（２）套进可动套筒（５）对着可动套筒（５）的螺孔（５０１）的部位上有凹陷的导向槽（２０１），有缩紧螺钉（３）从可动套筒（５）的螺孔（５０１）内旋进伸到不动立柱（２）上的导向槽（２０１）内，可动套筒（５）内置有压簧（４）； 〈４〉所说的机壳（７）置于可动套筒（５）顶上压在压簧（４）上； 〈５〉在机壳（７）内有不动投影物镜（１１），光源（９）的发光中心（ｏ）置于不动投影物镜（１１）的焦点上，与不动投影物镜（１１）构成投影物镜组的有可动投影物镜（１２０１），可动投影物镜（１２０１）置于与机壳（７）活动连接的外套（１２）内，可动投影物镜（１２０１）的焦点（ｏ↓［１］）焦在扫描探针显微装置头部（１３）上的探针针尖（１３０１）上； 〈６〉在光源（９）与不动投影物镜（１１）之间，与不动投影物镜（１１）和可动投影物镜（１２０１）的中心光轴（ｏｏ↓［１］）成４５°角置放的中心点（ｏ′）在中心光轴（ｏｏ↓［１］）上的半反半透分光板（１０）； 〈７〉所说的普通显微物镜（８）的中心光轴（ｏ′ｏ″）穿过半反半透分光板（１０）的中心点（ｏ′）而垂直于不动投影物镜（１１）和可动投影物镜（１２０１）的中心光轴（ｏｏ↓［１］），不动投影物镜（１１）经半反半透分光板（１０）反射的焦点在普通显微物镜（８）的物面（Ａ）上。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种扫描探针显微镜(以下简称为SPM)上的观察装置。主要适用的SPM是指利用光学杠杆原理探测针尖起伏的SPM。
技术介绍
SPM在提供给用户时，一般都配有一个观察装置，它起到了选择样品测量区域，观察探测针尖的逼近，监视SPM运行的作用。在SPM的大多数应用当中这几乎是不可缺少的设备，因为SPM的扫描范围很小，一般小于10μm，如果没有观察装置的帮助，探测针尖就很难定位于所要测量的区域；同时，如果没有观察装置的帮助，探测针尖极易在逼近和SPM运行过程中损坏。用于SPM上的观察装置与一般显微镜比较有许多特殊要求1、作为与SPM配合的独立仪器，要求物镜工作距离长(一般大于50mm)，以不妨碍SPM头部的运行。2、物镜数值孔径大，以便光线不被SPM头部内的反射镜全部遮住。3、共光路反射式照明，光强可变，主要与SPM头部的结构和工作要求(选择样品测量区域、观察探测针尖的逼近时，可采用较强的光，以便提高图像的质量；监视SPM运行时需要较弱的光，以便不引入噪声)有关。4、采用电荷耦合器件(CCD)作为探测器与监视器，方便观察也便于SPM单独防尘、温湿度控制。5、为调节方便，有粗调焦(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描探针显微镜上的观察装置，包括<1>底座(1)，置于底座(1)上有带探针针尖(1301)的扫描探针显微镜头部(13)；<2>有机壳(7)，机壳(7)内置有光源(9)，置有普通显微物镜(8)以及接收面(601)置放在普通显微物镜(8)像面(o″)上的摄像头(6)；其特征在于<3>固定在底座(1)上有不动立柱(2)，在不动立柱(2)的顶端套有可动套筒(5)，在可动套筒(5)套进不动立柱(2)的部位上有螺孔(501)，在不动立柱(2)套进可动套筒(5)对着可动套筒(5)的螺孔(501)的部位上有凹陷的导向槽(201)，有缩紧螺钉(3)从可动套筒(5)的螺孔(501)内旋进伸到不动立柱(2)上的导向槽(201)内，可动套筒(5)内置有压簧(4)；<4>所说的机壳(7)置于可动套筒(5)顶上压在压簧(4)上；<5&...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐文东，干福熹，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：