【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扫描探针显微镜，特别是有关于扫描探针显微镜所用的压电陶瓷扫描器。
技术介绍
几乎所有的扫描探针显微镜都使用压电陶瓷扫描器进行扫描成像。压电陶瓷扫描器主要有三角架型、单管型、和十字架配合单管型等。目前应用最为广泛的的是单管型压电陶瓷扫描器。一般情况下，压电陶瓷管是敞开于周围环境的，这样扫描管极易受到潮气和灰尘的侵蚀而失效或被电击穿。对此，中国科学院上海原子核研究所的一项专利号为ZL97243160.8，名称为“密封型扫描探针显微镜扫描器”的技术专利解决了防尘和防潮的问题。但由于其密闭性，又带来了其它影响扫描性能的缺点首先由于其两端皆为密封结构，则该扫描器一俟完成，其压电陶瓷扫描管的长度便固定，当扫描探针显微镜要得到不同等级的扫描范围时，只能重新设计扫描器的各项参数，重新制作扫描器，既增加了工作量又增加了成本；其次由于扫描器长时间工作会发热，而整个扫描器又为密封结构，热量难以散发，导致压电陶瓷性能不稳定而容易被几百伏的扫描电压击穿。此外过热还会使压电陶瓷接近或达到居里温度点而使其压电效应减弱或消失。
技术实现思路
针对上述现有技术的不足，本技术的目的是提供一种扫描器，能够根据扫描范围不同等级的需要，适用多种长度规格的压电陶瓷扫描管，并且在防止灰尘直接侵入的同时，使扫描管在腔内所产生的热气得以逸出，防止过热而影响压电陶瓷管的压电效应。 上述目的是通过如下结构实现的该压电陶瓷扫描器，包括具有安装平台的壳体、位于该壳体扫描端的样品座，在该样品座的中央置放有具有接触性好、样品固定牢靠特点的超强磁钢，所述样品座与壳体之间由密封胶密封，压电陶瓷管位于所述壳体...
【技术保护点】
一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器，包括具有安装平台（１３）的壳体（１）、位于该壳体扫描端（１１）的样品座（４），该样品座的中央置放有磁钢（２），所述样品座与壳体之间由密封胶（３）密封，压电陶瓷管（６）位于所述壳体的内筒中，两端套有使其与壳体（１）及样品座绝缘的绝缘环（５１，５２），压电陶瓷、绝缘环和壳体在下端由固定胶固定在一起，导线自所述压电陶瓷管中引出，其特征在于所述壳体（１）自安装平台（１３）向与扫描端相对的方向轴向延长形成一延伸端（１２），该延伸端可脱接地与具有中心导线穿孔的绝缘底座（７）套接，所述压电陶瓷管（６）下端的绝缘环（５２）与绝缘底座（７）的底面上分别开有若干通孔（５２１，７１）。
【技术特征摘要】
的范围内对其所作的改变均应属于本实用新型的范畴。权利要求1.一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器，包括具有安装平台(13)的壳体(1)、位于该壳体扫描端(11)的样品座(4)，该样品座的中央置放有磁钢(2)，所述样品座与壳体之间由密封胶(3)密封，压电陶瓷管(6)位于所述壳体的内筒中，两端套有使其与壳体(1)及样品座绝缘的绝缘环(51，52)，压电陶瓷、绝缘环和壳体在下端由固定胶固定在一起，导线自所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙洁林，胡志强，李民乾，胡钧，邱柄良，
申请(专利权)人：上海爱建纳米科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[]
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