【技术实现步骤摘要】
带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头的制作方法
本技术是有关一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头,尤其是指一种用于扫描隧道显微镜上的扫描探头带有减震结构。 由于这种原子图象的典型起伏是1×10-5μm(0.1埃),所以外来震动的干扰必须小于5×10-6μm(0.05埃)。有两类震动是必须隔离的,即振动和冲击,而振动一般是重复性和连续性的,冲击则是瞬态变化的,在两者之中,振动隔离是最主要的。在先技术中有的减震结构复杂而不理想。 因此,迫切需要提供一种具有简易型减震的扫描隧道显微镜的扫描探头以满足广大用户的使用需求。 本技术的带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头,如图1所示。包括扫描探头3-5、支架1和弹簧2。 所说的扫描探头3-5包括头部3、安装平台4和底座5。其中头部3含有外罩301,外罩301与安装平台4衔接处有外沿302,外沿302上置有悬吊螺栓303。 所说的支架1包括底端的底架101,顶端上的顶架103,底部101与顶架103之间的支柱102。 所说的弹簧2有n≥3根,一端均匀分布的固定在支架1的顶架103上,另一端固定在扫描探头3-5头部3外罩301外沿302上的悬吊螺栓303上,或者固定在外罩301上的悬吊环上,或者直接固定在头部3的外罩301上。 支架1的底架101置放在防震台6上。防震台6是气垫台,或者是砂垫台,或者是由多层水泥板与胶皮垫交错构成的平台。 如上述结构,图1所示,n≥3根弹簧2一端均匀分布的固定在支架1的顶架103上,另一端固定在扫描探头3-5头部3的外罩301上,弹簧2将其扫描探头3-5悬吊在支架1中间的空中,扫 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带减震的扫描隧道显微镜的扫描探头,包括含有头部(3)、安装平台(4)和底座(5)的扫描探头(3-5)和防震台(6),其中头部(3)含有外罩(301),外罩(301)与安装平台(4)衔接处有外沿(302),外沿(302)上置有悬吊螺栓(303),其特征在于包括支架(1)和弹簧(2),其中支架(1)包括底端的底架(101)、顶端的顶架(103)、底架(101)与顶架(103)之间的支柱(102);弹簧(2)有n≥3根,一端均匀分布的固定在支架(1)的顶架(103)上,另一端固定在扫描探头(3-5)头部(3)的外罩(301)外沿(302)上的悬吊螺栓(3...
【专利技术属性】
技术研发人员:李民乾,胡均,华寿亭,张心澄,
申请(专利权)人:上海爱建纳米科技发展有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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