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本实用新型涉及扫描探针显微镜，特别是扫描探针显微镜所用的压电陶瓷扫描器。本实用新型包括具有安装平台的壳体、位于扫描端的样品座，磁钢，压电陶瓷管位于所述壳体的内筒中，两端套有使其与壳体及样品座绝缘的绝缘环，在扫描端由密封胶密封，导线自所述压电...
该专利属于上海爱建纳米科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海爱建纳米科技发展有限公司授权不得商用。

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