一种纯化八氟环丁烷气体的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种纯化八氟环丁烷气体的装置，属于精细化工技术领域。本实用新型专利技术中采用吸附塔吸附碳卤化合物，降低脱轻精馏塔的排轻量和脱重精馏塔中的排重量，再通过脱轻精馏塔和脱重精馏塔的连续精馏，使精馏体系轻组分和重组分杂质含量进一步降低，从而能够提高产品收率，提高生产能力和产品质量；另外，反应塔、脱轻精馏塔和脱重精馏塔是三个压力不同的塔，通过高压塔塔顶气相加热低压塔塔底再沸器，可以实现热量的二次利用，可节能30％以上，同时降低了设备的投资，节约了塔顶低温冷却介质的使用，而且该装置生产能力大，易于实现大规模连续工业化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种纯化八氟环丁烷气体的装置
本技术涉及一种纯化八氟环丁烷气体的装置，属于精细化工

技术介绍
高纯八氟环丁烷是一种常用作半导体生产的刻蚀或清洁气体。它可以除去氧化硅、氮化硅等薄膜材料，从而实现半导体薄膜材料的刻蚀，同时除去在薄膜形成期间沉积在腔室内的薄膜原料。近年来，随着电子或电气元件性能更高、尺寸更小，半导体器件刻蚀精度要求越来越高，对刻蚀气体的纯度要求也越来越高。而作为清洁气体使用时，八氟环丁烷中含有的微量杂质能使具有高密度集成电路的产品产生缺陷。因此，应用于大规模集成电路的高纯八氟环丁烷纯度要求大于99.999％。八氟环丁烷制备方法主要有四氟乙烯二聚法、电化学氟化法、热解法和副产物回收法等，目前四氟乙烯二聚法相对成熟。在八氟环丁烷的制备过程中，涉及氟化和高温反应，放出大量热量，会发生键的断裂和重构，产生大量的碎片、二聚物、多聚物或其它碳卤化合物。这些碳卤化合物即八氟环丁烷粗品气中的杂质，其中包括烯类碳氟化合物，其它全氟化碳等。这些杂质种类繁多，有些浓度仅为1×10-6甚至1×10-9体积比(即ppm或ppb)级别，此外还本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纯化八氟环丁烷气体的装置，其特征在于：所述装置包括反应精馏塔、吸附塔、除尘器、过滤器Ⅰ、脱轻精馏塔、脱重精馏塔以及过滤器Ⅱ；/n反应精馏塔由塔釜加热装置和塔体组成，塔体中下部有进料口，塔顶有气相出料口和液相回流口；/n吸附塔的塔底有进料口，塔顶有出料口；/n脱轻精馏塔由塔底再沸器Ⅰ和塔体组成，塔体中部有进料口，塔顶有气相出料口和液相回流口，塔底有液相出料口；/n脱重精馏塔由塔底再沸器Ⅱ、塔体和塔顶冷凝器组成，塔体中部有进料口，塔顶有气相出料口和液相回流口，塔底有排重出口；/n反应精馏塔的气相出料口与脱轻精馏塔的再沸器Ⅰ进料口连接，脱轻精馏塔的再沸器Ⅰ出料口分别与反应精馏塔的液相回流口以...

【技术特征摘要】
1.一种纯化八氟环丁烷气体的装置，其特征在于：所述装置包括反应精馏塔、吸附塔、除尘器、过滤器Ⅰ、脱轻精馏塔、脱重精馏塔以及过滤器Ⅱ；
反应精馏塔由塔釜加热装置和塔体组成，塔体中下部有进料口，塔顶有气相出料口和液相回流口；
吸附塔的塔底有进料口，塔顶有出料口；
脱轻精馏塔由塔底再沸器Ⅰ和塔体组成，塔体中部有进料口，塔顶有气相出料口和液相回流口，塔底有液相出料口；
脱重精馏塔由塔底再沸器Ⅱ、塔体和塔顶冷凝器组成，塔体中部有进料口，塔顶有气相出料口和液相回流口，塔底有排重出口；
反应精馏塔的气相出料口与脱轻精馏塔的再沸器Ⅰ进料口连接，脱轻精馏塔的再沸器Ⅰ出料口分别与反应精馏塔的液相回流口以及吸附塔的进料口连接，吸附塔的出料口与脱轻精馏塔的进料口连接，连接吸附塔和脱轻精馏塔的管路上设有除尘器和过滤器Ⅰ，脱轻精馏塔的液相出料口与脱重精馏塔的进料口连接，脱轻精馏塔的气相出料口与脱重精馏塔的再沸器Ⅱ进料口连接，脱重精馏塔的再沸器Ⅱ出料口分别与脱轻精馏塔的液相回流口以及排空管连接，脱重精馏塔的排重出口与排污管连接，脱重精馏塔的冷凝器分别与脱重精馏塔的气相出料口、脱重精馏塔的液相回流口以及过滤器Ⅱ连接。


2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，徐海云，曹红梅，柳彤，岳立平，张帅，齐航，姚刚，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13