一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法技术

本发明专利技术公开一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法，属于微机电系统微加工技术领域。该方法首先，制造石墨烯包覆的镓基合金液滴。其次，依次制作含有固定电极的玻璃盖片、含有微通道的PDMS基片。最后，将玻璃盖片和PDMS基片的表面进行氧等离子体处理，并将石墨烯包覆的镓基合金液滴放入微通道中，完成二者的键合。本发明专利技术制造的微流体惯性开关是利用具有高润滑性和高导电性的石墨烯对镓基合金液滴进行包覆，可以有效避免镓基合金的氧化层对开关中微通道表面的粘附，同时仍然可以保持液滴的良好导电特性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法
本专利技术属于微机电系统(MEMS)微加工
，涉及一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法。技术背景微惯性开关是一种通过感知阈值加速度来实现开关通断的精密器件，因其体积小、功耗低、响应速度快等优点，被广泛应用于武器系统、汽车以及手势识别等领域。目前，微惯性开关主要分为“固-固”接触型和“固-液”接触型两大类。“固-固”接触型微惯性开关即传统机械式微惯性开关，在电极接触时存在接触磨损、信号跳变、接触电阻大等问题，影响了开关的使用性能。为了克服“固-固”接触型微惯性开关存在的问题，近年来，“固-液”接触型微惯性开关受到了国内外学者的关注。“固-液”接触型微惯性开关又称为微流体惯性开关，大多数利用液态金属液滴作为开关的运动电极，当感知到的加速度大于开关阈值时，液态金属液滴在惯性力驱动下沿着开关中的微通道运动，从而接通开关上的固定电极实现开关的闭合。现有的液态金属液滴材料主要包括汞和镓基合金两种。2011年，韩国浦项科技大学Yoo等人研制了一种基于汞液滴的微本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法，其特征在于，该方法制造的开关利用具有高润滑性和高导电性的石墨烯对镓基合金液滴进行包覆，能够有效避免镓基合金的氧化层对开关中微通道表面的粘附，同时仍然保持液滴的良好导电特性；制造方法包括以下步骤：/n步骤1：制作石墨烯包覆的镓基合金液滴；/n利用微量进样器将镓基合金滴落在铺满石墨烯粉末的培养皿中，通过晃动培养皿使镓基合金液滴在石墨烯粉末中充分滚动，即可在镓基合金液滴表面包覆一层致密均匀的石墨烯；/n步骤2：制作含有固定电极的玻璃盖片；/n首先，在玻璃片上依次磁控溅射一层铬薄膜和一层金薄膜，其中铬薄膜作为粘附层用于提高金薄膜与玻璃片之间的...

【技术特征摘要】
1.一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法，其特征在于，该方法制造的开关利用具有高润滑性和高导电性的石墨烯对镓基合金液滴进行包覆，能够有效避免镓基合金的氧化层对开关中微通道表面的粘附，同时仍然保持液滴的良好导电特性；制造方法包括以下步骤：
步骤1：制作石墨烯包覆的镓基合金液滴；
利用微量进样器将镓基合金滴落在铺满石墨烯粉末的培养皿中，通过晃动培养皿使镓基合金液滴在石墨烯粉末中充分滚动，即可在镓基合金液滴表面包覆一层致密均匀的石墨烯；
步骤2：制作含有固定电极的玻璃盖片；
首先，在玻璃片上依次磁控溅射一层铬薄膜和一层金薄膜，其中铬薄膜作为粘附层用于提高金薄膜与玻璃片之间的结合强度；接着，利用匀胶机在金薄膜上旋涂一层正性光刻胶，旋涂完成后依次进行前烘、曝光、显影和后烘；然后，依次对金薄膜和铬薄膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军山，赵欣悦，杨圳威，谭智广，刘泽汉，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21