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一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法技术
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下载一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法的技术资料
文档序号:26224893
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本发明公开一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法,属于微机电系统微加工技术领域。该方法首先,制造石墨烯包覆的镓基合金液滴。其次,依次制作含有固定电极的玻璃盖片、含有微通道的PDMS基片。最后,将玻璃盖片和PDMS基片的表面进...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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