多气体感测装置制造方法及图纸

技术编号:2621955 阅读:163 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种多气体感测装置,利用平面光波导线路建构具有感测信道与参考信道的多气体感测平台,可大幅薄型化气体传感器结构,并提高气体传感器的准确度、长期稳定性及缩短响应时间。可广泛应用于工厂作业场所的安全监测、工作人员安全监测、厂区灾害预警、限制区域安全检测、管线侦漏、环保汽机车废气检测及居家环境质量监测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气体感测装置,特别涉及一种利用平面光波导线路建构具有感测信道与参考信道以提供感测至少一种气体的多气体感测装置
技术介绍
多气体的定性、定量检测在环境监控、家用警报、化工控制、温室环境控制及航空等领域有着广泛的应用。使用气体传感器进行多气体的定性定量研究,可以大幅降低测量成本,减少测量周期,并可实现实时监控测量。但由于目前的气体传感器,如半导体氧化物式、金属氧化物式、电化学式或固态电解质式普遍存在着交叉敏感性(Cross sensitivity)的问题,而交叉敏感性会大幅降低测量的重复性和可靠性,并使传感器无法准确判定个别标的气体的浓度,虽然可利用多个敏感程度不同的气体传感器组成传感器组来实现多气体感测,但仍无法消除传感器对不同气体的交叉敏感性。而利用不同气体对于红外光有不同吸收特性的原理,所设计的光学气体传感器因无交叉敏感性问题,故极适合用来实现多气体传感器的设计开发。现有光学气体传感器因受到传统腔体结构上的限制,导致在实现多气体感测的同时,会因封装检测组件数量的增加,而使传感器的体积大幅增加,制作成本也相对提高。因此,目前光学气体传感器大多只针对单一气体进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多气体感测装置,其特征在于,包括:一发光器,可发射出一信号光;一平面光波导线路,其前端与该发光器相耦接,该平面光波导线路还具有一感测信道以及一参考信道,该感测信道与该参考信道分别具有至少一开口区以及至少一末端,该平面光波 导线路可接收该信号光以分别形成一感测光信号以及一参考光信号;以及至少一检光器,分别设置于该感测信道及该参考信道所设的至少一末端处,用来将该感测光信号以及该参考光信号转换成电信号。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡明郎张金生邱以泰朱俊勋
申请(专利权)人:财团法人工业技术研究院
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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