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多气体感测装置制造方法及图纸
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下载多气体感测装置的技术资料
文档序号:2621955
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本发明公开了一种多气体感测装置,利用平面光波导线路建构具有感测信道与参考信道的多气体感测平台,可大幅薄型化气体传感器结构,并提高气体传感器的准确度、长期稳定性及缩短响应时间。可广泛应用于工厂作业场所的安全监测、工作人员安全监测、厂区灾害预警...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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