【技术实现步骤摘要】
一种用于水平沉铜的离子钯活化液及其制备方法
本专利技术涉及一种离子钯活化液,特别是涉及一种用于水平沉铜的离子钯活化液及其制备方法。
技术介绍
化学镀铜(EletcrolessPlatingCopper)通常也叫沉铜或孔化(PTH)是一种自身催化性氧化还原反应,水平沉铜属于沉铜的其中一种。首先要用活化剂或活化液处理,使绝缘基材的表面吸附上一层活性的粒子,通常用的是金属钯粒子,铜离子在这些活性的金属钯粒子上被还原,而这些被还原的金属铜晶核本身又成为铜离子的催化层,使铜的还原反应连续在这些新的铜晶核表面上进行,最终沉积形成均匀的铜导电层。在水平沉铜过程中,活化剂或活化液起到了很关键的作用,目前使用较多的是离子钯活化液。中国专利申请CN201911112604.4公开了“一种离子钯活化液及其制备方法和应用”,所述离子钯活化液包括水合硫酸钯、硫酸、反应加速剂、表面活性剂、稳定剂、pH调节剂以及去离子水;以所述离子钯活化液的总体积为1L计,所述水合硫酸钯的添加量为5-200mg,硫酸的添加量为10-50g,反应加速剂的添加量为5 ...
【技术保护点】
1.一种用于水平沉铜的离子钯活化液,其特征在于:每升离子钯活化液包括由以下组分:硫酸钯8~12mg,络合剂0.1~1g,表面活性剂10~20mg,pH值调节剂20~25mL,稳定剂7~10mg,聚酰胺-胺树脂-甘氨酸复合物2~3mg,其余为去离子水。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于水平沉铜的离子钯活化液,其特征在于:每升离子钯活化液包括由以下组分:硫酸钯8~12mg,络合剂0.1~1g,表面活性剂10~20mg,pH值调节剂20~25mL,稳定剂7~10mg,聚酰胺-胺树脂-甘氨酸复合物2~3mg,其余为去离子水。
2.根据权利要求1所述的一种用于水平沉铜的离子钯活化液,其特征在于:所述络合剂为4-二甲氨基吡啶。
3.根据权利要求1所述的一种用于水平沉铜的离子钯活化液,其特征在于:所述表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚。
4.根据权利要求1所述的一种用于水平沉铜的离子钯活化液,其特征在于:所述pH值调节剂为氨水。
5.根据权利要求1所述的一种用于水平沉铜的离子钯活化液,其特征在于:所述稳定剂为肉桂醛。
6.根据权利要求1所述的一种用于水平沉铜的离子钯活化液,其特征在于:所述聚酰胺-胺树脂-甘氨酸复合物由以下步骤制成:
将代数为G3.0的聚酰胺-胺树脂加入水中搅拌均匀得到聚酰胺-胺树脂溶液,将甘氨酸乙酯加入水中搅拌均匀得到甘...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁先峰,马骏,
申请(专利权)人:广州皓悦新材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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