一种具有电路板微调平台的光刻设备制造技术

一种具有电路板微调平台的光刻设备，包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），投影机构（3）固定在投影支架（4）上，投影支架（4）位于机箱（5）的后端；传输机构（1）包括：传输板（11）和传输导轨（12），传输导轨（12）从机箱（5）的前端延伸至后端，传输板（11）设置在传输导轨（12）上；光刻设备还包括：微调平台（7），微调平台（7）位于传输导轨（12）的后侧；微调平台（7）包括：承接盘（71）和升降器（72），承接盘（71）设置在升降器（72）上。由于采用了微调平台，因此可以对电路板的高度以及角度进行微调，避免热胀冷缩对投影距离和投影角度的影响，保持投影图案位置及比例的一致性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有电路板微调平台的光刻设备
本技术涉及光刻设备，尤其是涉及一种具有电路板微调平台的光刻设备。
技术介绍
光刻设备是一种能够发出可利用的强紫外线光线的表面处理的机械设备。为了克服传统光固化机在生产电路板时工艺复杂的问题，中国专利技术申请公布号CN109375479A公开了一种投影式的光刻设备，通过投射特定线路图案的冷光源，使电路板线路上的UV涂层固化，固化过程中不需要使用菲林遮挡，大大提高效率。中国技术公告号CN210199508U公开了一种采用CCD定位的光刻设备，该CCD定位机构可以在光固化工艺之前确定电路板与传输板之间的相对位置以及电路板的尺寸，从而在光固化工艺的过程中保证线路图案投影到正确的位置。然而，不同的电路板的厚度会存在误差，而且受到了热胀冷缩（即热胀系数不同）的影响，造成了不同电路板与投射光源之间的距离不同，投影的线路图案的比例也随之变化，从而导致了不同电路板上的线路尺寸不同。
技术实现思路
本技术技术方案是针对上述情况的，为了解决上述问题而提供一种具有电路板微调平台的光刻设备，所述光刻设备包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有电路板微调平台的光刻设备，所述光刻设备包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），所述传输机构（1）、所述投影机构（3）和所述投影支架（4）都位于所述机箱（5）的内部，所述投影机构（3）固定在所述投影支架（4）上，所述投影支架（4）位于所述机箱（5）的后端；其特征在于：所述传输机构（1）包括：传输板（11）和传输导轨（12），所述传输导轨（12）从所述机箱（5）的前端延伸至后端，所述传输板（11）沿前后方向可移动地设置在所述传输导轨（12）上；所述光刻设备还包括：微调平台（7），所述微调平台（7）位于所述机箱（5）的内部，并且所述微调平台（7）位于所述传输导轨...

【技术特征摘要】
1.一种具有电路板微调平台的光刻设备，所述光刻设备包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），所述传输机构（1）、所述投影机构（3）和所述投影支架（4）都位于所述机箱（5）的内部，所述投影机构（3）固定在所述投影支架（4）上，所述投影支架（4）位于所述机箱（5）的后端；其特征在于：所述传输机构（1）包括：传输板（11）和传输导轨（12），所述传输导轨（12）从所述机箱（5）的前端延伸至后端，所述传输板（11）沿前后方向可移动地设置在所述传输导轨（12）上；所述光刻设备还包括：微调平台（7），所述微调平台（7）位于所述机箱（5）的内部，并且所述微调平台（7）位于所述传输导轨（12）的后侧；所述微调平台（7）包括：承接盘（71）和升降器（72），所述承接盘（71）沿上下方向可移动地设置在所述升降器（72）上。


2.根据权利要求1所述的具有电路板微调平台的光刻设备，其特征在于：所述传输板（11）的上端具有吸附孔（111），所述传输板（11）的下端具有轨道槽（112），所述传输导轨（12）穿过所述轨道槽（112），所述承接盘（71）与所述轨道槽（...

【专利技术属性】
技术研发人员：温伟华，
申请(专利权)人：广东台名智能设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44