气体折射率传感器制造技术

一种气体折射率传感器，包括一光子晶体模块、光源和探测器，光源与探测器分别设置于光子晶体模块的两端，该光子晶体模块包括一基体，该基体包括第一平面及与第一平面相对的第二平面，该基体上有垂直贯穿于第一平面和第二平面大量的气孔，该气孔构成一三角型光子晶体模块，其中位于该基体中心位置的气孔的直径小于其它气孔的直径形成一谐振腔，其中，该谐振腔相对的两侧为由未设置气孔的基体构成的线缺陷，该线缺陷分别为第一波导与第二波导，该第一波导与第二波导分别与该谐振腔之间相隔数个孔。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气体传感器，特别涉及一种气体折射率传感器。
技术介绍
气体的折射率可以直接反映和衡量气体的压力、密度、组成以及温度， 因此精确的测量气体的折射率可以观测气体的上述指标。现有技术中通常采 用的气体折射率传感器通过光纤腔干涉的方法测量气体折射率。但是这种气 体传感器体积比较大，不适合于气体的样本非常少的测量条件，并且也不适 合于与其他光学设备的集成。光子晶体是一种人造的介电系数周期性变化(光波长尺度)的介质结构。 与晶体中电子受周期势场的作用而形成电子能带相类似，在这种周期介质结 构中允许传播的光子能量呈带状分布，即形成所谓的光子能带，故称为光子 晶体。光子晶体能禁止处于光子带隙频域内的光传播，即禁带效应，因此在 光子晶体中引进缺陷形成带隙限制的"光子局域"，具有带隙限制导波和微 腔谐振的独特功能，会影响(或改变)光子晶体中原子和分子的发光过程及 光的传播特性。光子晶体的这些特点为设计微型折射率敏感的传感器件提供 了新的平台。近几年，基于光子晶体设计的微型折射率敏感的传感器相继问世。由于这种传感器有较高的微腔谐振品质因素和很小的传感面积(每10 jam、平方微米)的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体折射率传感器，包括：　一光子晶体模块，该光子晶体模块进一步包括：　一基体，该基体包括第一平面及与第一平面相对的第二平面；　大量气孔，该气孔设置于上述基体上，垂直贯穿于第一平面和第二平面；　一谐振腔，该谐振腔为位于基体中心位置的气孔，其直径小于其它气孔的直径；　一第一波导与一第二波导，该第一波导与第二波导设置于上述谐振腔的两端，分别与上述谐振腔之间相隔多个气孔；　一光源，该光源设置于晶体模块的一端，对应第一波导设置；　一探测器，该探测器设置于晶体模块的另一端，对应第二波导设置；　其特征在于，所述第一波导与第二波导为该光子晶体模块上的两个线缺陷，由未设置气孔的部分基体构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓玲，金国藩，朱钧，
申请(专利权)人：清华大学，鸿富锦精密工业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]