折射率传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种折射率传感器。所述折射率传感器包括光源、光子晶体微腔结构及感测器，所述光子晶体微腔结构包括晶体层及大量形成于该晶体层并规则排列的孔，其中一个孔的直径与其他孔的直径不同从而构成一谐振腔，该谐振腔相对的两侧的晶体层具有线缺陷，该线缺陷分别构成第一波导与第二波导，该第一波导及第二波导与该谐振腔之间分别具有数个孔，所述光源设置于该第一波导之入射端，所述感测器设置于该第二波导之出射端。所述的传感器中，第一波导及第二波导的设置使得光线的透过率可以提升到４０％到７０％，而且传感器具有较高的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传感器，尤其涉及一种折射率敏感的传感器。
技术介绍
由于具有独特的光子禁带(Photonic Band Gap )效应，光子晶体(Photonic Crystals)为设计微型折射率敏感的传感器件提供了新的平台。近几年，基于光 子晶体设计的微型折射率敏感的传感器相继问世，由于这种传感器有较高的微 腔谐振品质因素(high-Q microcavity )和很小的传感面积(每10pm2的传感面积 只要求被测量的样本为lfL)，因此该种传感器可用于痕量样品的测量。^貪参阅 J.Topol，ancik等人的"Fluid detection with photonic crystal-based multichannel waveguides" (Applied Physics Letters.82,1143-1145(2003))。 J.Topol，ancik等人设计的光子晶体波导结构的传感器可以探测到的折射率变化 为0.2，此种传感器对折射率的分辨率并不高。E.Chow等人在"ultracompact biochemical sensor built 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种折射率传感器，其包括光源、光子晶体微腔结构及感测器，所述光子晶体微腔结构包括晶体层及大量形成于该晶体层并规则排列的孔，其特征在于，其中一个孔的直径与其他孔的直径不同从而构成一谐振腔，该谐振腔相对的两侧的晶体层具有线缺陷，该线缺陷分别构成第一波导与第二波导，该第一波导与第二波导及该谐振腔之间分别具有数个孔，所述光源设置于该第一波导之入射端，所述感测器设置于该第二波导之出射端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓玲，金国藩，许振丰，朱钧，
申请(专利权)人：清华大学，鸿富锦精密工业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]