高通量的粒子计数器制造技术

粒子计数器（１）装备有涡旋泵（２），该涡旋泵适用于产生以至少５０升／分钟的最大流速通过测量室（６）的气流。气流中夹带的粒子所散射的光由光学系统（１１）采集。最小孔的最小直径和光学系统的倍率的乘积总计至少２ｍｍ。特别优选的是具有至少２．５ｍｍ的最小直径和至少１．５的倍率的最小孔。所述光学系统（１１）把由气流和光束（８）交叉产生的测量体积的投影成像到传感器模块（１３）的活动区域（１２）上。传感器模块（１３）包含光电倍增管（ＰＭＴ）。粒子计数器的灵敏度和精度都通过使用更大的孔和更大的倍率来改进其可通过光电倍增管的使用成为可能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高通量的粒子计数器 本专利技术涉及粒子计数器，尤其涉及一种粒子计数器，其包括用于形成通过粒子计数器的气流的泵，该气流携带将被量化的粒子负载；具有进口和出 口的测量室，气流通过该进口进入测量室而通过该出口流出测量室；光源； 用于将光源发射的光束导入测量室的装置，以便光束橫穿气流；传感器装置， 用于检测由粒子负载散射的光；以及光学系统，用于将散射光成像到传感器 装置的活动区域上。这种类型的粒子计数器是众所周知的，例如美国第4， 571, 079号专利 所述。它们被频繁地用于确定洁净室环境的周围空气中粒子含量。在任何情况下，极低浓度的大气粒子是必不可少的，用以避免可能使昂 贵加工的产品变得无用的粒子污染物一例如半导体制造、药物生产、微加工 和纳米加工、科学无尘实验室等，这需要不断地或至少有蚬律地监控实际粒 子含量。为了获得代表将要评估的粒子含量的环境空气的测量结果，有必要抽样 一定的极小空气量。例如，欧洲产品生产质量规范管理委员会需要A类和B 类洁净室中1立方米空气的极小采样量，并为c类洁净室推荐相同的采样量。粒子计数器所允许通过其测量体积(measurement volume)的采样空气的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粒子计数器，包括；　泵（２），用于产生通过所述粒子计数器的气流，所述气流携带将被量化的粒子负载，　具有进口（７）和出口（１５）的测量室（６），通过所述进口（７）所述气流进入所述测量室（６），通过所述出口（１５）所述气流流出所 述测量室（６），　光源（９），　装置，用于将所述光源（９）发射的光束（８）导入所述测量室（６），从而所述光束（８）横穿所述气流，　传感器装置（１３），用于检测由所述粒子负载散射的光（１０），以及　光学系统（１１），用 于将所述散射光（１０）成像到所述传感器装置（１３）的活动区域（１２）上，　其特性在于...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：D米尔斯，
申请(专利权)人：生物测试股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]