集成变压器及集成电感的交叉结构制造技术

本发明专利技术公开了集成变压器或集成电感的交叉结构，可以应用于各种集成变压器或集成电感，使集成变压器或集成电感的设计更具弹性，以满足各种集成变压器或集成电感对耦合系数及/或品质因数的需求。本发明专利技术的交叉结构包含制作于半导体结构的第一金属层的多个线段，以及制作于半导体结构的第二金属层的多个线段，第一金属层不等于第二金属层。

【技术实现步骤摘要】
集成变压器及集成电感的交叉结构
本专利技术涉及集成变压器及集成电感，尤其涉及集成变压器及集成电感的交叉结构。
技术介绍
变压器为射频集成电路中用来实现单端至差分信号转换、信号耦合、阻抗匹配等功能的重要元件，随着集成电路往系统单芯片(SystemonChip，SoC)发展，集成变压器(integratedtransformer)及/或集成电感(integratedinductor)已逐渐取代传统的分离式元件，而被广泛地使用在射频集成电路中。然而，集成电路中的变压器及电感，往往会占用大量的芯片面积，因此，如何缩小集成电路中的变压器及电感的面积，并同时维持元件的特性(例如耦合系数(couplingcoefficient，K)或品质因数(qualityfactor，Q))，成为一个重要的课题。特别是，交叉(crossing)结构对集成变压器及集成电感的绕线或布局以及对于品质因数及对称性扮演关键的角色。
技术实现思路
鉴于现有技术的不足，本专利技术的一目的在于提供一种集成变压器及集成电感的交叉结构。本专利技术公开一种应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种交叉结构，应用于一集成变压器，包含：/n一第一线段、一第二线段、一第三线段、一第四线段，及一第五线段，其中该第一线段、该第二线段、该第三线段、该第四线段及该第五线段制作于一半导体结构的一第一金属层；以及/n一第六线段及一第七线段，其中该第六线段及该第七线段制作于该半导体结构的一第二金属层；/n其中该第六线段通过多个贯穿结构连接该第一线段及该第五线段，该第一线段、该第五线段及该第七线段形成一第一导线；/n其中该第七线段通过多个贯穿结构连接该第二线段及该第四线段，该第二线段、该第七线段及该第四线段形成一第二导线；/n其中该第一金属层不等于该第二金属层，该集成变压器包含一第一电感及一第二电感...

【技术特征摘要】
1.一种交叉结构，应用于一集成变压器，包含：
一第一线段、一第二线段、一第三线段、一第四线段，及一第五线段，其中该第一线段、该第二线段、该第三线段、该第四线段及该第五线段制作于一半导体结构的一第一金属层；以及
一第六线段及一第七线段，其中该第六线段及该第七线段制作于该半导体结构的一第二金属层；
其中该第六线段通过多个贯穿结构连接该第一线段及该第五线段，该第一线段、该第五线段及该第七线段形成一第一导线；
其中该第七线段通过多个贯穿结构连接该第二线段及该第四线段，该第二线段、该第七线段及该第四线段形成一第二导线；
其中该第一金属层不等于该第二金属层，该集成变压器包含一第一电感及一第二电感，该第一导线及该第三线段为该第一电感的一部分，该第二导线为该第二电感的一部分，该第一导线跨越该第二导线及该第三线段，且该第二导线跨越该第三线段。


2.如权利要求1所述的交叉结构，其中该第六线段包含一第一子线段及一第二子线段，且该第一子线段与该第二子线段的夹角为90度。


3.如权利要求2所述的交叉结构，其中该第三线段包含一第三子线段及一第四子线段，且该第一子线段平行该第三子线段，以及该第二子线段平行该第四子线段。


4.如权利要求1所述的交叉结构，其中该第六线段包含一第一子线段及一第二子线段，且该第一子线段与该第二子线段的夹角为135度。


5.如权利要求4所述的交叉结构，其中该第二线段包含一第三子线段，该第三线段包含一第四子线段，以及该第七线段包含一第五子线段，且该第一子线段垂直该第三子线段，以及该第四子线段垂直该第五子线段。


6.一种交叉结构，应用于一集成变压器或一集成电感，包含：
一第一线段、一第二线段、一第三线段、一第四线段、一第五线段，及一第六线段，其中该第一线段、该第二线段、该第三线段、该第四线段、该第五线段及该第六线段制作于一半导体结构的一第一金属层；以及
一第七线段及一第八线段，其中该第七线段及该第八线段制作于该半导体结构的一第二金...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜孝璁，蔡弘钰，陈家源，
申请(专利权)人：瑞昱半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71