【技术实现步骤摘要】
一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针及制备方法
本专利技术涉及生命科学半导体芯片领域，尤其涉及一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针及制备方法。
技术介绍
光遗传学工具需要具备特异性靶向光调控和神经信号的记录两种功能，被定义为光电极。光电极可分为耦合光源式和注入光源式两种，耦合光源式光电极受到光纤、激光源、外接耦合设备束缚，限制了无线型、智能型光电极的发展，所以注入光源式光电极将成为光遗传学工具的必然发展趋势，注入光源式光电极的光源驱动模块工作时，注入电流会对生物信号的记录带来电磁辐射干扰和工频噪声。电磁辐射干扰的抑制和消除是光电极必须解决的难点之一，对提升采集的生物信号的质量有着至关重要的影响。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针及制备方法，可在具有注入光源式光电极高分辨率、高光功率密度、小尺寸、低功耗的优势的基础上，进一步优化生物信号的记录质量。本专利技术所采用的第一技术方案是：一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针，包括...
【技术保护点】
1.一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针，其特征在于，包括发光二极管结构、记录电极和电磁屏蔽结构，所述发光二极管结构由下至上包括衬底材料、n型氮化镓、有源层、p型氮化镓、透明导电层、绝缘隔离层、绝缘钝化层，所述绝缘隔离层上设有发光二极管阳极结构和发光二极管阴极结构，所述电磁屏蔽结构由电磁屏蔽层结构和地线半包围结构构成。/n
【技术特征摘要】
1.一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针，其特征在于，包括发光二极管结构、记录电极和电磁屏蔽结构，所述发光二极管结构由下至上包括衬底材料、n型氮化镓、有源层、p型氮化镓、透明导电层、绝缘隔离层、绝缘钝化层，所述绝缘隔离层上设有发光二极管阳极结构和发光二极管阴极结构，所述电磁屏蔽结构由电磁屏蔽层结构和地线半包围结构构成。
2.根据权利要求1所述一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针，其特征在于，所述发光二极管阳极结构包括发光二极管阳极电极、发光二极管阳极导线、发光二极管阳极焊盘，所述发光二极管阴极结构包括发光二极管阴极、发光二极管阴极导线、发光二极管阴极焊盘，所述记录电极结构包括记录电极、记录电极导线、记录电极焊盘。
3.根据权利要求2所述一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针，其特征在于，所述绝缘隔离层上设有阳极窗口和阴极窗口。
4.根据权利要求3所述一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针，其特征在于，所述阳极窗口上设有发光二极管阳极电极，所述绝缘隔离层上设有发光二极管阳极导线和发光二极管阳极焊盘，所述发光二极管阳极电极通过发光二极管阳极导线与发光二极管阳极焊盘连接。
5.根据权利要求4所述一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针，其特征在于，所述阴极窗口上设有发光二极管阴极电极，所述绝缘隔离层上设有发光二极管阴极导线和发光二极管阴极焊盘，所述发光二极管阴极电极通过发光二极管阴极导线与发光二极管阴极焊盘连接。
6.根据权利要求5所述一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针，其特征在于，所述绝缘隔离层上设有记录电极、记录电极导线和记录电极焊盘，所述记录电极通过记录电极导线与记录电极焊盘连接。
7.根据权...
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