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本发明公开了一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针及制备方法，微探针包括发光二极管结构、记录电极和电磁屏蔽结构，所述发光二极管结构由下至上包括蓝宝石衬底、p型氮化镓、有源层、n型氮化镓、透明导电层、绝缘隔离层、绝缘钝化层，所述绝缘隔离层上...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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