一种基于液体透镜的非球面检测方法技术

技术编号:26166886 阅读:79 留言:0更新日期:2020-10-31 13:18
本发明专利技术涉及一种基于液体透镜的非球面检测方法,该方法主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能,又由非球面的补偿原理,可以相应的设计出由液体透镜进行补偿的补偿镜,在检测过程中完全补偿非球面的法线像差,产生与理想非球面一致波前,进而可以分析非球面的面形误差信息。对于多种曲率的非球面可以实现等同检测,同时对于补偿镜的补偿范围也相应的进行了提高,因此减轻了检测流程的复杂度,加快了检测速度,降低了检测成本。

【技术实现步骤摘要】
一种基于液体透镜的非球面检测方法
本专利技术属于光学检测领域,具体涉及一种基于液体透镜的非球面检测方法,它是基于液体透镜的自主变焦实现了待测非球面的测量,该方法拓宽了非球面的测量,提高了补偿镜的进一步范围,同时降低了检测的成本。
技术介绍
目前在检测待测非球面时,通常是单个测量并搭建不同的检测平台,然而补偿范围有限,同时检测成本也十分昂贵,因此提出了液体透镜的自主变焦,这种液体透镜主要通过改变光学液体的折射率从而使得液体折射率发生梯度变化来实现变焦的功能。且液体透镜无需组合较多透镜,较为方便,并对生物医疗、军事感知、智能机器人等领域带都带来了较为深刻的影响。
技术实现思路
本专利技术的目的是在于光学检测领域里针对不同的待测非球面,实行降低工程难度,降低检测成本。提出了基于液体透镜的光学检测方法。本专利技术采用的技术方案为:一种基于液体透镜的非球面检测方法,该方法利用的检测装置包括激光干涉仪9,液体透镜补偿镜10,ITO电极层4,绝缘层8,输入电压6,场镜11和待测非球面12,所述的激光干涉仪9打出一束光,经过在电压微本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于液体透镜的非球面检测方法,其特征在于:该方法利用的检测装置包括激光干涉仪(9),液体透镜补偿镜(10),ITO电极层(4),绝缘层(8),输入电压(6),场镜(11)和待测非球面(12),所述的激光干涉仪(9)打出一束光,经过在电压微控下液体透镜可实现自主的变焦,而同时液体透镜也作为补偿镜,再由发出的光束经过场镜(11)最后入射到待测非球面(12)上,液体透镜补偿镜(10)是由绝缘液体(1)和导电液体(5)在输入电压(6)控制调节下两种液体形成了一种可变焦距的透镜,同时疏水介电层(2)可以直接与液体进行接触,不会产生任何形变,且上基板(3)位于疏水介电层(2)和ITO电极层(4)之...

【技术特征摘要】
1.一种基于液体透镜的非球面检测方法,其特征在于:该方法利用的检测装置包括激光干涉仪(9),液体透镜补偿镜(10),ITO电极层(4),绝缘层(8),输入电压(6),场镜(11)和待测非球面(12),所述的激光干涉仪(9)打出一束光,经过在电压微控下液体透镜可实现自主的变焦,而同时液体透镜也作为补偿镜,再由发出的光束经过场镜(11)最后入射到待测非球面(12)上,液体透镜补偿镜(10)是由绝缘液体(1)和导电液体(5)在输入电压(6)控制调节下两种液体形成了一种可变焦距的透镜,同时疏水介电层(2)可以直接与液体进行接触,不会产生任何形变,且上基板(3)位于疏水介电层(2)和ITO电极层(4)之间,起到了连接作用,由于输入电压(6)改变,在绝缘液体(1)与导电液体(5)之间会产生大量的电荷(7)也就发生转移,也就形成不同的透镜界面;又由激光干涉仪(9)发出的光,进入到补偿镜(10)和场镜(11)后再入射到待测非球面后,最后由透镜组得到波前理想形状,进而分析非球面的面形误差,可通过改变相应的电压,使透镜的界面发生相应的变化能够自主变焦,进而可放置不同的待测非球面使之进行相应的检测。


2.根据权利要求1所述基于液体透镜的非球面检测方法,其特征在于:该液体透镜是基于液体器件的自主变焦,液体变焦透镜是一种通过改变导电液体与绝缘液体间的界面的形状以改变焦距的新型光学元件,液体透镜就是这种新型变焦透镜,大多数液体透镜...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴永前刘源超刘峰伟徐燕陈小君
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
类型:发明
国别省市:四川;51

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