一种多功能X射线衍射仪制造技术

一种多功能Ｘ射线衍射仪，其特征在于：其构成如下： 一束特征Ｘ射线经过狭缝（１）、准直光管（２）和狭缝（３），入射到达槽型硅单色器（４）； 样品台（５）的底盘能绕单色器（４）的轴转动； 经过单色器（４）的单色Ｘ射线到达多维运动样品台（５），实验样品安装在由三个滑板组成的样品台（５）上，该样品台可带动样品做Ｘ、Ｙ、Ｚ三个方向运动，每个方向的移动行程为±４ｍｍ，最大载重为２００克； 多维运动样品台（５）还可绕其中心轴，即θ轴（８）旋转，θ轴由步进马达控制，最小步长为０．０１度，精度为０．０１度，系统误差小于５％； Ｘ射线入射到样品上； 衍射Ｘ射线束经过狭缝光栏（６），到达闪烁计数器（７），闪烁计数器（７）安装在可绕样品轴旋转的２θ轴（９）上，２θ轴由步进马达控制，最小步长为０．０１度，精度为０．０１度，系统误差小于５％； θ轴和２θ轴由微机（１０）控制，可分别作θ轴或２θ轴单独转动，也可作θ轴／２θ轴连动； 通过闪烁计数器（７）和数据记录系统（１０），即可得到不同类型的测量信息； 仪器的操作、控制及数据采集全部由微机（１０）控制，实现了自动化。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于X射线衍射
低维材料是材料科学中活跃的前沿领域之一。不仅在物理性质上有丰富的研究内容，而且有着重要的应用。随着器件尺寸的缩小，层厚越来越薄，结构越来越复杂，物理效应越来越丰富，材料的微结构和微缺陷的影响也越来越重要。因此，研究低维材料的结构参数，表面、界面状态，微结构、微缺陷的引入，发展和控制及其对材料电性，磁性和光学等物理性质的影响是十分重要的。本技术的目的在于通过不同的组合，使原来只能做X射线粉末衍射的一台70年代的X射线衍射仪，具有粉末衍射、双晶衍射、镜面反射和漫散射测量等功能，即成为一台多功能X射线衍射仪；并实现全自动操作，数据收集微机控制；适用于材料微结构分析，特别是固体薄膜材料微结构分析。本技术的目的是这样实现的如附图说明图1和图2所示一束特征X射线经过狭缝1、准直光管2和狭缝3，入射到槽型硅单色器4上，使入射的X射线单色化。样品台5的底盘可绕单色器4的轴转动，使其成为双轴晶衍射仪。经过单色器4的单色X射线到达多维运动样品台5。实验样品安装在由三个滑板组成的样品台5上，该样品台可带动样品做X、Y、Z三个方向运动，每个方向的移动行程为±4mm，最大载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：麦振洪，吴兰生，崔树范，徐明，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：