一种在复杂零件表面制备薄膜的方法技术

本发明专利技术涉及一种在复杂零件表面制备薄膜的方法，包括如下步骤：(1)将零件放置于反应腔内；(2)根据零件沉积薄膜组成成分，开始沉积第一个前驱体；(3)当第一个前驱体沉积结束，向真空腔内通过气体净化真空腔；(4)沉积第二个前驱体，然后再通过气体净化反应腔，依次类推；(5)最后在零件表面沉积所需要的薄膜厚度。该方法制备的薄膜具有保型性高、洁净度高的特点。该方法主要是将零件置于反应腔内，按薄膜膜层成分依次准备沉积前驱体，使得零件表面制备一层层膜层。本发明专利技术可在复杂零件的任何地方沉积薄膜，不存在沉积盲区。

【技术实现步骤摘要】
一种在复杂零件表面制备薄膜的方法
本专利技术属于纳米
，主要是在复杂零件表面制备功能性涂层。
技术介绍
目前，随着各行业设备的快速发展，组成设备的零件越来越复杂，对于零件的功能性要求越来越严格。目前，零件的机械结构越来越复杂，零件表面通常要求耐腐蚀性、耐磨损性，以在半导体设备的零件表面制备耐腐蚀性涂层为例，现在在零件表面制备薄膜涂层的方法主要有CVD和PVD两种，可传统的CVD和PVD的沉积方法越来越难满足零件的保形问题。这就造成了在零件表面制备耐腐性涂层后，零件的尺寸精度发生变化，会影响零件之间的装配问题以及零件的其他功能。为了解决这一问题，提高零件的保形性问题，现开发一种在复杂零件表面制备薄膜的方法，用该方法，无论在多复杂的零件表面都可以沉积均匀的涂层，同时，还具有很高的保形性，且在涂层制备过程中，不产生其他颗粒杂质，保证涂层具有一定的洁净度。
技术实现思路
本专利技术的目的是在复杂零件表面制备均匀、保形性高的薄膜，主要是将零件放置于反应腔内，按照所需涂层的组分依次向反应腔内通入前驱体，前驱体依次与上一次的基体发生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在复杂零件表面制备薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n(1)将零件放置于反应腔内；/n(2)根据零件沉积薄膜组成成分，开始沉积第一个前驱体；/n(3)当第一个前驱体沉积结束，向真空腔内通过气体净化真空腔；/n(4)沉积第二个前驱体，然后再通过气体净化反应腔，依次类推；/n(5)最后在零件表面沉积所需要的薄膜厚度。/n

【技术特征摘要】
1.一种在复杂零件表面制备薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将零件放置于反应腔内；
(2)根据零件沉积薄膜组成成分，开始沉积第一个前驱体；
(3)当第一个前驱体沉积结束，向真空腔内通过气体净化真空腔；
(4)沉积第二个前驱体，然后再通过气体净化反应腔，依次类推；
(5)最后在零件表面沉积所需要的薄膜厚度。


2.如权利要求1所述的一种在复杂零件表面制备薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，复杂零件放置于反应腔内，尽量保证零件与零件的支架接触面积小。


3.如权利要求1所述的一种在复杂零件表面制备薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，根据薄膜组分，开始沉积第一个前驱体，该前驱体的可以有多种选择。


4.如权利要求1所述的一种在复杂零件表面制备薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(3)中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐俊阳，李加，徐宏岩，安朋娜，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21