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本发明涉及一种在复杂零件表面制备薄膜的方法，包括如下步骤：(1)将零件放置于反应腔内；(2)根据零件沉积薄膜组成成分，开始沉积第一个前驱体；(3)当第一个前驱体沉积结束，向真空腔内通过气体净化真空腔；(4)沉积第二个前驱体，然后再通过气体净...
该专利属于沈阳富创精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳富创精密设备有限公司授权不得商用。

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