一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置，该清洗装置包括滚筒装置(1)、连接装置(2)和移动装置(3)；所述的滚筒装置(1)包括对称设置的轴承座(4)、穿设在轴承座(4)中的滚轴(5)、套设在滚轴(5)外部的滚筒(6)，滚轴(5)与电机连接；所述的滚筒(6)设置为圆柱体；所述的滚筒(6)设置为加热滚筒；等等。本实用新型专利技术的压力可以调控，本实用新型专利技术能实现温度的精确控制，加热体积适中，不浪费材料的同时减少了对能源的消耗。

【技术实现步骤摘要】
一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置
本技术属于石墨烯清洗装置结构
，尤其是涉及一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置结构

技术介绍
中国专利网在2019年公布了一项专利技术专利，《一种石墨烯的清洁装置》专利号（201820925014.8）该装置是将滚筒固定于电机上，通过电机的带动，实现对石墨烯的清洁装置，该装置的缺点是，只通过样品台对其进行加热，该方案会导致样品表面温度的不均匀，清洗效果差。中国专利网在2019年公布了一项专利技术专利，《基于活性炭复合物制备超洁净石墨烯的方法》专利号（201710761253.4）该使用新型是通过将活性炭附着在滚筒表面对其进行清洁，但是该方案的缺陷是，滚筒无法精准控制滚动的接触力，从而对石墨烯的清洁效果产生影响。石墨烯是有碳原子经过sp2杂化形成的二维材料，其具有优良的物理特性：高迁移率、良好的透光性、大的比表面积、容易沉积在硅衬底上而广泛兼容与集成电路。石墨烯的生长需要靠Cu作为催化剂，直接抑制了其在集成电路上的应用，要将其应用于集成电路，需对生长在Cu片上的石墨烯转移至硅片上，转移如采用的是湿法转移需要引入PMMA等作为过渡产品，引入的PMMA需对其进行清除，本使用新型的目的就是将杂质产物清除干净，获得超洁净的石墨烯。
技术实现思路
本技术正是为了解决上述问题缺陷，提供一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置。改进之处是在于本技术的压力可以调控，本技术能实现温度的精确控制，加热体积适中，不浪费材料的同时减少了对能源的消耗。本技术采用如下技术方案实现。一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置，该清洗装置包括滚筒装置、连接装置和移动装置；所述的滚筒装置包括对称设置的轴承座、穿设在轴承座中的滚轴、套设在滚轴外部的滚筒，滚轴与电机连接；所述的滚筒设置为圆柱体，滚筒外侧壁设置有吸附剂层和清洁剂层；所述的滚筒设置为加热滚筒；所述清洁剂为PVDF粘着剂，所述吸附剂为活性炭，泡沫铜。根据本实施方式，所述滚筒通过PVDF将清洁剂黏附于滚筒中，通过电极的转动实现清洁的作用，所述的连接装置包括固定板A和固定板B，固定板A的端头在固定板B的中部与之固定连接构成“T”型结构，在固定板A的侧壁同侧固定设置有两个固定块，所述的两个固定块距离与轴承座配合；固定块和轴承座上分别设置有螺孔，固定块和轴承座通过在螺孔内旋入螺栓紧固连接；滚筒装置和连接装置连接后，所述的滚筒滚动面非朝上设置；所述的连接装置与移动装置固定连接；所述的移动装置通过连接装置控制滚筒装置的滚筒做上下/前后往复运动。进一步为，本技术所述的滚筒设置为加热滚筒结构为，所述的滚轴设置为中空滚轴，在中空滚轴内设置有加热丝；所述的加热丝通过导线、开关与电源连接。进一步为，本技术所述的移动装置设置为两套移动台；所述的移动台包括滑台基座、卡设在滑台基座上的滑动块（滑动块上可设置有固定螺钉）；所述的滑台基座中部设置有螺纹杆，该螺纹杆通过固定端头与滑台基座连接；所述的滑动块内部设置有螺纹套，该螺纹套与螺纹杆旋转螺纹连接；在固定端头外侧设置有转动把手，螺纹杆穿过固定端头与转动把手连接，通过旋转转动把手带动滑动块在滑台基座上往复运动；两套移动台一套水平设置，一套垂直设置，垂直设置的移动台中的滑台基座侧边设置有螺纹孔A；水平设置的移动台中的滑动块上设置有螺纹孔B；螺纹孔A和螺纹孔B大小，间距相互配合，通过在螺纹孔A和螺纹孔B内旋入螺钉固定所述的两套移动台；所述的连接装置与移动装置固定连接结构为，连接装置中的固定板B上设置有螺纹孔C，垂直设置的移动台中滑动块上设置有螺纹孔D，通过在螺纹孔C和螺纹孔D上旋入螺钉固定连接装置和移动装置。进一步为，本技术所述的转动把手替换为单轴步进电机，该单轴步进电机与单轴步进电极控制器连接（可编程）。进一步为，本技术该清洗装置还包括样品台；样品台由上至下依序设置有吸盘、加热板、绝缘层、压力传感器；吸盘通过真空将样品附着于吸盘上方。吸盘高度为5~12mm，最优选为8mm。所述的吸盘内部设置为中空结构，上表面设置有负压孔，吸盘侧壁通过导管与真空泵连接；导管与吸盘侧壁密封设置；所述的负压孔与滚筒装置的滚筒对应设置。进一步为，本技术所述的单轴步进电机规格为：运动速度为10μm/s。进一步为，本技术所述的垂直设置的移动台垂直移动的行程为：90~130mm，优选为100mm。进一步为，本技术所述的加热板10~30mm，优选为20mm。进一步为，本技术所述的绝缘层厚度为5~15mm，优选为10mm进一步为，本技术所述的压力传感器高度为40~80mm，优选为58mm。本技术的有益效果为，1）本技术所述的是将活性炭吸附于滚筒上面，通过电机带动滚筒的旋转，石墨烯表面进行清洗；2）本技术采用滚筒与样品台双加热模式，采用精准控温装置，能够实现在不同温度下对石墨烯进行清洁，能够选取最优温度点，达到最有益的清洁效果；3）本技术通过对样品台下方添加压力传感装置，实现了对滚筒压力的精准控制，以实现对清洁表面温度及清洁压力的精准控制，从而达到更加有效的清洁。4）本技术采用微米级电机，通过控制电机的运动速率能够实现在不伤害石墨烯的同时进行高质量的清洁。下面结合附图和具体实施方式本技术做进一步解释。附图说明图1为本技术滚筒装置（1）结构示意图。图2为本技术连接装置（2）结构示意图。图3为本技术移动装置（3）结构示意图--垂直（水平设置的省略）。图4为本技术吸盘结构示意图。具体实施方式如图1、2、3、4所示，一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置，该清洗装置包括滚筒装置1、连接装置2和移动装置3；所述的滚筒装置1包括对称设置的轴承座4、穿设在轴承座4中的滚轴5、套设在滚轴5外部的滚筒6，滚轴5与电机连接；所述的滚筒6设置为圆柱体，滚筒6外侧壁设置有吸附剂层和清洁剂层；所述的滚筒6设置为加热滚筒；所述清洁剂为PVDF粘着剂，所述吸附剂为活性炭，泡沫铜。根据本实施方式，所述滚筒6通过PVDF将清洁剂黏附于滚筒中，通过电极的转动实现清洁的作用，所述的连接装置2包括固定板A2.1和固定板B2.2，固定板A2.1的端头在固定板B2.2的中部与之固定连接构成“T”型结构，在固定板A2.1的侧壁同侧固定设置有两个固定块2.3，所述的两个固定块2.3距离与轴承座4配合；固定块2.3和轴承座4上分别设置有螺孔，固定块2.3和轴承座4通过在螺孔内旋入螺栓紧固连接；滚筒装置1和连接装置2连接后，所述的滚筒6滚动面非朝上设置；所述的连接装置2与移动装置3固定连接；所述的移动装置3通过连接装置2控制滚筒装置1的滚筒6做上下/前后往复运动。进一步为，本技术所述的滚筒6设置为加热滚筒结构为，所述的滚轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置，其特征在于，该清洗装置包括滚筒装置（1）、连接装置（2）和移动装置（3）；/n所述的滚筒装置（1）包括对称设置的轴承座（4）、穿设在轴承座（4）中的滚轴（5）、套设在滚轴（5）外部的滚筒（6），滚轴（5）与电机连接；所述的滚筒（6）设置为圆柱体；所述的滚筒（6）设置为加热滚筒；/n所述的连接装置（2）包括固定板A（2.1）和固定板B（2.2），固定板A（2.1）的端头在固定板B（2.2）的中部与之固定连接构成“T”型结构，在固定板A（2.1）的侧壁同侧固定设置有两个固定块（2.3），所述的两个固定块（2.3）距离与轴承座（4）配合；固定块（2.3）和轴承座（4）上分别设置有螺孔，固定块（2.3）和轴承座（4）通过在螺孔内旋入螺栓紧固连接；/n滚筒装置（1）和连接装置（2）连接后，所述的滚筒（6）滚动面非朝上设置；/n所述的连接装置（2）与移动装置（3）固定连接；/n所述的移动装置（3）通过连接装置（2）控制滚筒装置（1）的滚筒（6）做上下/前后往复运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置，其特征在于，该清洗装置包括滚筒装置（1）、连接装置（2）和移动装置（3）；
所述的滚筒装置（1）包括对称设置的轴承座（4）、穿设在轴承座（4）中的滚轴（5）、套设在滚轴（5）外部的滚筒（6），滚轴（5）与电机连接；所述的滚筒（6）设置为圆柱体；所述的滚筒（6）设置为加热滚筒；
所述的连接装置（2）包括固定板A（2.1）和固定板B（2.2），固定板A（2.1）的端头在固定板B（2.2）的中部与之固定连接构成“T”型结构，在固定板A（2.1）的侧壁同侧固定设置有两个固定块（2.3），所述的两个固定块（2.3）距离与轴承座（4）配合；固定块（2.3）和轴承座（4）上分别设置有螺孔，固定块（2.3）和轴承座（4）通过在螺孔内旋入螺栓紧固连接；
滚筒装置（1）和连接装置（2）连接后，所述的滚筒（6）滚动面非朝上设置；
所述的连接装置（2）与移动装置（3）固定连接；
所述的移动装置（3）通过连接装置（2）控制滚筒装置（1）的滚筒（6）做上下/前后往复运动。


2.根据权利要求1所述的压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置，其特征在于，所述的滚筒（6）设置为加热滚筒结构为，所述的滚轴（5）设置为中空滚轴，在中空滚轴内设置有加热丝；所述的加热丝通过导线、开关与电源连接。


3.根据权利要求1所述的压力和温度精确调控的石墨烯清洗装置，其特征在于，所述的移动装置（3）设置为两套移动台（7）；所述的移动台（7）包括滑台基座（7.1）、卡设在滑台基座（7.1）上的滑动块（7.2）；所述的滑台基座（7.1）中部设置有螺纹杆（7.3），该螺纹杆（7.3）通过固定端头（7.4）与滑台基座（7.1）连接；所述的滑动块（7.2）内部设置有螺纹套，该螺纹套与螺纹杆（7.3）旋转螺纹连接；在固定端头外侧设置有转动把手（7.5），螺纹杆（7.3）穿过固定端头（7.4）与转动把手（7.5）连接，通过旋转转动把手（7.5）带动滑动块（7.2）在滑台基座（7.1）上往复运动；
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【专利技术属性】
技术研发人员：邱锋，黄涛，吕文霞，褚景豫，张婉，刘子睿，田一，胡涛，丁家芬，
申请(专利权)人：云南大学，
类型：新型
国别省市：云南;53