本实用新型专利技术提供一种水汽分离排放装置及电镀设备。该装置包括第一气液分离罐、第二气液分离罐及抽气泵，第一气液分离罐和第二气液分离罐均包括进液口、排液口及排气口；第一气液分离罐的进液口与待排放的气液源相连通，排气口与第二气液分离罐的进液口相连通；第二气液分离罐的排气口与抽气泵相连通，且第二气液分离罐内设置有除雾器，除雾器位于第二气液分离罐的排气口上；含有水汽的气体经第一气液分离罐进行第一次气液分离后，进入第二气液分离罐中进行第二次气液分离。本实用新型专利技术可以显著改善水汽分离排放的效果，有助于延长气体排放管路和抽气泵的使用寿命，有助于减少清洗维修作业工作量，降低生产成本，提高职业健康水平。
【技术实现步骤摘要】
水汽分离排放装置及电镀设备
本技术涉及半导体设备领域，特别是涉及一种水汽分离排放装置及电镀设备。
技术介绍
电镀是指在含有预镀金属的盐类溶液中，以被镀基体金属为阴极，通过电解作用，使镀液中预镀金属的阳离子在基体金属表面沉积形成镀层的一种表面加工方法，是半导体芯片制造中用来形成金属互连结构的一种常用工艺。在半导体电镀生产中，必须进行水汽分离使得电镀液体无气泡以确保产品质量。现有的水汽分离排放装置是利用抽气泵，通过管路连接到一个具有液体排放口和气体排放口的罐体中以形成实时抽真空管路，将分离出来的水汽源源不断地通过抽气泵抽出以进行排放。但是现有的水汽分离排放装置通常为单一罐体结构，且罐体内没有任何辅助水汽分离结构而仅通过液体的自然沉降实现水汽分离，难以完全实现水汽的彻底分离，故气体排放管路中的气体还是会混有液体。而电镀行业的化学品有腐蚀性且极易形成结晶，易造成气体排放管路堵塞和/或导致抽气泵损坏，需要经常更换抽气泵配件和清理气体排放管路，导致生产成本的上升和设备产出率的下降。同时，因排放气体具有刺激性气味及腐蚀性，更换配件和清洗气体排放管路的过程中还容易对工作人员的健康造成威胁。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种水汽分离排放装置及电镀设备，用于解决现有的电镀设备中，因水汽分离排放装置难以实现完全的水汽分离，导致最终排放的气体中仍含有有毒液体，容易导致气体排放管路的堵塞和/或抽气泵的损坏，导致生产成本上升和设备产出率下降，以及更换配件和清洗气体排放管路的过程中容易对工作人员的健康造成危害等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种水汽分离排放装置，所述水汽分离排放装置包括第一气液分离罐、第二气液分离罐及抽气泵，所述第一气液分离罐和所述第二气液分离罐均包括进液口、排液口及排气口；所述第一气液分离罐的进液口与待排放的气液源相连通，所述第一气液分离罐的排气口与所述第二气液分离罐的进液口相连通，所述第二气液分离罐的排气口与所述抽气泵相连通，且所述第二气液分离罐内设置有除雾器，所述除雾器位于所述第二气液分离罐的排气口上；含有水汽的气体经所述第一气液分离罐进行第一次气液分离后，进入所述第二气液分离罐中进行第二次气液分离。可选地，所述第二气液分离罐内还设置有挡板，所述挡板位于所述第二气液分离罐的进液口与排气口之间，用于将液体导流到所述第二气液分离罐内。在一可选方案中，所述挡板的一端与所述第二气液分离罐的进液口所在的侧壁相连接且位于所述第二气液分离罐的进液口的上方，另一端向所述第二气液分离罐的底部延伸且优选与底部具有间距。在另一可选方案中，所述挡板的一端与所述第二气液分离罐的顶部相连接，另一端向所述第二气液分离罐的底部延伸且优选与底部具有间距。在又一可选方案中，所述挡板包括沿所述第二气液分离罐的高度方向设置的第一挡板和沿所述第二气液分离罐的宽度方向设置的第二挡板。在又一可选方案中，所述第二气液分离罐上还设置有导气管路，所述导气管路自所述第二气液分离罐的外部延伸到所述第二气液分离罐的内部且与所述第二气液分离罐的底部具有间距，所述第二气液分离罐的排气口设置于所述导气管路位于所述第二气液分离罐内的一端，所述导气管路的另一端与所述抽气泵相连通。更可选地，所述第二气液分离罐内还设置有分液板，所述分液板位于所述导气管路的下方且与所述第二气液分离罐的底部具有间距。在又一可选方案中，所述第二气液分离罐内还设置有导气管路和位于所述导气管路表面的挡板，所述导气管路与所述第二气液分离罐的罐体相连接，且一端向所述第二气液分离罐的底部延伸且与底部具有间距，另一端与所述抽气泵相连通，所述第二气液分离罐的排气口位于所述导气管路向所述第二气液分离罐的底部延伸的一端，所述挡板呈螺旋状。可选地，所述水汽分离排放装置内还设置有液位报警器。本技术还提供一种电镀设备，所述电镀设备包括电镀腔室及如上述任一方案中所述的水汽分离排放装置，所述电镀腔室的排液口与所述水汽分离排放装置的第一气液分离罐的进液口通过所述排放管路相连通。相较于现有技术，本技术的水汽分离排放装置及电镀设备具有以下有益效果：本技术提供的水汽分离排放装置通过优化的结构设计，可以显著改善水汽分离排放的效果，极大减少最终排放的气体中所含有的液体，避免有毒液体在气体排放管路上结晶和/或造成抽气泵的损坏，有助于延长气体排放管路和抽气泵的使用寿命，有助于减少清洗维修作业工作量，降低生产成本，提高职业健康水平。采用本技术的电镀设备，可有效提高设备产出率，降低生产成本。附图说明图1显示为本技术的水汽分离排放装置的结构示意图。图2至图6显示为图1中的第二气液分离罐的其他示例结构示意图。元件标号说明11第一气液分离罐111进液口112排液口113排气口12第二气液分离罐121进液口122排液口123排气口13抽气泵14除雾器15挡板151第一挡板152第二挡板16导气管路17分液板18液位报警器19回收罐具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图6。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。且为使图示尽量简洁，本说明书的图示中并未示意出所有的结构。如图1所示，本技术提供一种水汽分离排放装置，所述水汽分离排放装置包括第一气液分离罐11、第二气液分离罐12及抽气泵13，所述第一气液分离罐11和所述第二气液分离罐12均包括进液口、排液口及排气口；所述第一气液分离罐11的进液口111与待排放的气液源相连通(比如与电镀设备的排放口通过排放管路相连通，气液即为气体和液体的混合物，或者说携带有液体的气体)，所述第一气液分离罐11的排气口113与所述第二气液分离罐12的进液口相连通，所述第二气液分离罐12的排气口123与所述抽气泵13相连通，且所述第二气液分离罐12内设置有除雾器14，所述除雾器14位于所述第二气液分离罐12的排气口123上，优选覆盖于其排气口123的表面，用于除去气体中的水汽，确保最终通过所述第二气液分离罐12的排气口123排出的气体不含有或含有极少的水汽；含有水本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种水汽分离排放装置，其特征在于，包括第一气液分离罐、第二气液分离罐及抽气泵，所述第一气液分离罐和所述第二气液分离罐均包括进液口、排液口及排气口；所述第一气液分离罐的进液口与待排放的气液源相连通，所述第一气液分离罐的排气口与所述第二气液分离罐的进液口相连通，所述第二气液分离罐的排气口与所述抽气泵相连通，且所述第二气液分离罐内设置有除雾器，所述除雾器位于所述第二气液分离罐的排气口上；含有水汽的气体经所述第一气液分离罐进行第一次气液分离后，进入所述第二气液分离罐中进行第二次气液分离排放。/n
【技术特征摘要】
1.一种水汽分离排放装置，其特征在于，包括第一气液分离罐、第二气液分离罐及抽气泵，所述第一气液分离罐和所述第二气液分离罐均包括进液口、排液口及排气口；所述第一气液分离罐的进液口与待排放的气液源相连通，所述第一气液分离罐的排气口与所述第二气液分离罐的进液口相连通，所述第二气液分离罐的排气口与所述抽气泵相连通，且所述第二气液分离罐内设置有除雾器，所述除雾器位于所述第二气液分离罐的排气口上；含有水汽的气体经所述第一气液分离罐进行第一次气液分离后，进入所述第二气液分离罐中进行第二次气液分离排放。
2.根据权利要求1所述的水汽分离排放装置，其特征在于：所述第二气液分离罐内还设置有挡板，所述挡板位于所述第二气液分离罐的进液口与排气口之间，用于将液体导流到所述第二气液分离罐内。
3.根据权利要求2所述的水汽分离排放装置，其特征在于：所述挡板的一端与所述第二气液分离罐的进液口所在的侧壁相连接且位于所述第二气液分离罐的进液口的上方，另一端向所述第二气液分离罐的底部延伸。
4.根据权利要求2所述的水汽分离排放装置，其特征在于：所述挡板的一端与所述第二气液分离罐的顶部相连接，另一端向所述第二气液分离罐的底部延伸。
5.根据权利要求2所述的水汽分离排放装置，其特征在于：所述挡板包括沿所述第二气液分离罐的高度方向设置的第一挡板和沿所述第二气液分离罐的宽度方向设置的...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑文，郁海洋，
申请(专利权)人：中芯长电半导体江阴有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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