薄膜小型空心管式固体电解质CO*传感器制造技术

一种薄膜小型空心管式固体电解质ＣＯ↓［２］传感器，由ＮＡＳＩＣＯＮ薄膜（４）、网状Ａｕ电极（３）、信号Ｐｔ电极（６）、二元碳酸盐ＢａＣＯ↓［３］－Ｌｉ↓［２］ＣＯ↓［３］辅助电极（５）、环形加热丝（２）组成，其特征在于：传感器还包括有Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］空心管式衬底（１），ＮＡＳＩＣＯＮ薄膜（４）、网状Ａｕ电极（３）、信号Ｐｔ电极（６）、二元碳酸盐ＢａＣＯ↓［３］－Ｌｉ↓［２］ＣＯ↓［３］辅助电极（５）依次在Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］空心管式衬底（１）上制作，环形加热丝（２）内置于Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］空心管式衬底（１）中，Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］空心管式衬底尺寸为φ１．０～１．５ｍｍ×３．５～４．５ｍｍ，管壁厚为０．２～０．３ｍｍ，内置加热丝的尺寸为φ０．９～１．４ｍｍ×３．５～４．５ｍｍ，加热丝直径为０．１５～０．２５ｍｍ。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于气体敏感元器件领域，涉及一种用于检测CO2气体浓度的薄膜小型空心管式固体电解质CO2传感器。
技术介绍
固体电解质因其在固态时具有与熔融盐或液体电解质相似的离子电导率，所以又称为快离子导体或超离子导体，1977年，Gauthier提出了利用固体电解质K2CO3制作CO2传感器。1990年，日本的山添等人又采用NASICON材料和二元碳酸盐电极制作了固体电解质CO2传感器，元件的响应特性及抗水蒸汽干扰性能都得到了突破性进展。近年来，它已成为气体敏感元器件领域的一个重要研究方向。目前，国内外普遍采用传统的平面型结构来制作固体电解质CO2传感器。根据文献报道，平面型结构的元件的加热方式分为两种，一种为内加热式，如图7、图8所示，一种为旁热式，如图9、图10所示。内加热式平面型元件加热效果好，却存在制作过程相对复杂，加热丝易断等缺点，旁热式平面型元件把加热丝安装于元件的外部，制作过程相对简单，但是由于加热丝裸露在外，致使元件的加热效果不够理想。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种薄膜小型空心管式固体电解质CO2传感器，它克服了平面型结构CO2传感器的缺点，为进一步开发和利用固体电解质C本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邱法斌，朱棋锋，全宇军，徐宝琨，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：实用新型
国别省市：