电感耦合等离子体全谱仪制造技术

一种电感耦合等离子体全谱仪，结构由样品引入系统（１）、射频功率源系统（２）、ＩＣＰ光源（３）、分光检测系统（４）和计算机控制及显示、打印系统（５）构成；其特征在于，射频功率源系统（２）使用带有自动阻抗匹配网络的全固态晶体管控制的射频发生器，由自动阻抗匹配网络（１７）、匹配网络控制器（１８）、射频功率源（１６）电连接构成，射频功率源（１６）的射频输出端（１９）与自动阻抗匹配网络（１７）的射频输入端（２０）通过同轴传输电缆（２１）连接，自动阻抗匹配网络（１７）接受匹配网络控制器（１８）控制，射频发生器采用风冷系统；分光检测系统（４）由光路单元和分光检测模块构成；所说的光路单元包括会聚透镜和光纤（８），会聚透镜安置在ＩＣＰ光源（３）的炬焰和光纤（８）的一个端头之间，光纤（８）的另一个端头与分光检测模块的入射狭缝（９）相对；所说的分光检测模块按光路顺序由入射狭缝（９）、准直球面凹面镜（１０）、石英棱镜（１１）、中阶梯光栅（１２）、聚焦球面凹面镜（１３）和二维阵列检测器（１４）组成，各元件固定安装。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属一种原子光谱分析用多元素(多波长)同时检测原子发射光谱的装置。
技术介绍
原子发射光谱仪器具有可同时或顺序测定周期表中大多数元素的特点，特别是电感耦合等离子体(ICP)光谱仪的出现，由于其具有原子化和激发能力强、基体效应小、动态线性范围宽、对大多数元素的检出限可达亚ng/mL数量级而成为了元素分析的主要手段。跟本专利技术最相近的现有技术——“电感耦合等离子体原子发射光谱仪”就具有上述的特点。电感耦合等离子体原子发射光谱仪的结构主要由样品引入系统(含样品、载气源、雾化器、雾室等)、射频功率源、ICP光源(结构包括供样品和载气引入的内管、供辅助气引入的中管、供等离子体气引入的外管，它们是依次同轴套装的，射频耦合线圈套在石英炬管外)、分光检测系统和计算机控制及显示、打印系统构成。其中的射频功率源使用的是电子管设备，其阻抗匹配靠经验手动调节，因此预热时间长，一般在一小时左右，浪费了大量的实验气体及电能，使用不方便，输出功率不稳定，还必须采用大流量水冷却系统，系统无法做得很小。其中的分光检测系统采用的是电机驱动的光栅单色仪分光，仪器体积大、扫描速度慢，样品消耗量较大，对于一些动态过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金钦汉，曹彦波，郇延富，王兴华，冯国栋，姜杰，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：实用新型
国别省市：