一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台、气泵和液压缸，工作台的上端固定连接有两块侧板，气泵和液压缸均固定安装于其中一块侧板的一端侧壁上，液压缸的一端固定连接有连接板，连接板内设有腔室，气泵的出气端与腔室的顶部连通设置，其中一块侧板与腔室的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔，多个通气孔内均安装有防尘板，两端对应设置的防尘板的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆，侧板上的多个通气孔的一端均连通设有弹性气囊。本实用新型专利技术不仅能有效地对半导体制程特种气体输送管道进行检漏处理，还能提高装置对对半导体制程特种气体输送管道的检漏效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置
本技术涉及管道检漏
，尤其涉及一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置。
技术介绍
半导体制程特种气体输送管道其在使用前，需要进行检漏处理，避免气体传输时发生泄漏现象，尤其对于传输一些有害气体，如若发生泄漏，可能对环境和周围的人员将造成严重的伤害。目前市场上使用的半导体制程特种气体输送管道检漏装置大多对管道的检漏效果不佳，且不能有效地提高装置对管道的检漏效率。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中半导体制程特种气体输送管道检漏装置大多对管道的检漏效果不佳，且不能有效地提高装置对管道的检漏效率的现象，而提出的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，其不仅能有效地对半导体制程特种气体输送管道进行检漏处理，还能提高装置对对半导体制程特种气体输送管道的检漏效率。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台、气泵和液压缸，所述工作台的上端固定连接有两块侧板，所述气泵和液压缸均固定安装于其中一块侧板的一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台（1）、气泵（2）和液压缸（3），其特征在于，所述工作台（1）的上端固定连接有两块侧板（4），所述气泵（2）和液压缸（3）均固定安装于其中一块侧板（4）的一端侧壁上，所述液压缸（3）的一端固定连接有连接板（5），所述连接板（5）内设有腔室（6），所述气泵（2）的出气端与腔室（6）的顶部连通设置，其中一块所述侧板（4）与腔室（6）的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔（7），多个所述通气孔（7）内均安装有防尘板（8），两端对应设置的防尘板（8）的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆（9），所述侧板（4）上的多个通气孔（7）的一端均连通设...

【技术特征摘要】
20191230 CN 20192243861531.一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台（1）、气泵（2）和液压缸（3），其特征在于，所述工作台（1）的上端固定连接有两块侧板（4），所述气泵（2）和液压缸（3）均固定安装于其中一块侧板（4）的一端侧壁上，所述液压缸（3）的一端固定连接有连接板（5），所述连接板（5）内设有腔室（6），所述气泵（2）的出气端与腔室（6）的顶部连通设置，其中一块所述侧板（4）与腔室（6）的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔（7），多个所述通气孔（7）内均安装有防尘板（8），两端对应设置的防尘板（8）的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆（9），所述侧板（4）上的多个通气孔（7）的一端均连通设有弹性气囊（10）。

【专利技术属性】
技术研发人员：汪德生，
申请(专利权)人：苏州锐泽系统工程有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32