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本实用新型公开了一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台、气泵和液压缸，工作台的上端固定连接有两块侧板，气泵和液压缸均固定安装于其中一块侧板的一端侧壁上，液压缸的一端固定连接有连接板，连接板内设有腔室，气泵的出气端与腔室的顶部连...
该专利属于苏州锐泽系统工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州锐泽系统工程有限公司授权不得商用。

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