一种半导体制程特种气体输送管道密封结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体制程特种气体输送管道密封结构，包括底座和安插在底座内的横杆，所述底座的中部固定有套接在横杆上的主基座，所述主基座的顶部安装有主圆环，所述底座内关于主基座对称设置有两个复位机构，两个所述复位机构上均安装有副基座，两个所述副基座的顶部均安装有副圆环，两个所述副圆环内分别固定插设有管道，两个所述管道相对的一端分别通过弹性机构与主圆环的左右两侧相连接。本实用新型专利技术在半导体制程特种气体传输的过程中顺时的气流冲击力可以经由两个管道之间的相对活动被缓冲抵消掉，从而避免管道连接处的破裂，保证半导体制程特种气体的持续、正常输送。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程特种气体输送管道密封结构
本技术涉及特种气体输送
，尤其涉及一种半导体制程特种气体输送管道密封结构。
技术介绍
电子特种气体种类多，应用领域广泛。电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为5-6%，但由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积极布局的方向。特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积用气体、载运稀释气体七类。半导体制程特种气体的输送与常规气体一样都需要借助管道进行，但是目前的管道之间大多只是简单地通过法兰进行连接，在管道连接处之间并没有设置足够的预留活动量，这样在半导体制程特种气体传输的过程中顺时的气流冲击力则可能会造成管道连接处的破裂，从而影响甚至中断半导体制程特种气体的正常输送。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：目前的管道之间大多只是简单地通过法兰进行连接，在管道连接处之间并没有设置足够的预留活动量，这样在半导体制程特种气体传输的过程中顺时的气流冲击力则可能会造成管道连接处的破裂，从而影响甚至中断半导体制程特种气体的正常输送，进而提出的一种半导体制程特种气体输送管道密封结构。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种半导体制程特种气体输送管道密封结构，包括底座和安插在底座内的横杆，所述底座的中部固定有套接在横杆上的主基座，所述主基座的顶部安装有主圆环，所述底座内关于主基座对称设置有两个复位机构，两个所述复位机构上均安装有副基座，两个所述副基座的顶部均安装有副圆环，两个所述副圆环内分别固定插设有管道，两个所述管道相对的一端分别通过弹性机构与主圆环的左右两侧相连接。优选的，所述弹性机构包括固定在管道端部的伸缩节，所述伸缩节远离管道的一端固定有法兰盘。优选的，两个相对设置的所述法兰盘与主圆环之间通过螺栓与螺母的螺纹配合得以固定。优选的，所述伸缩节为铝合金制品。优选的，所述复位机构包括依次套设在横杆一端的缓冲弹簧和套筒，所述缓冲弹簧的一端与套筒的端面固接，所述缓冲弹簧的另一端与主基座的底部固接，所述副基座固定在套筒的顶部。优选的，所述底座的内侧壁上开设有限位槽，所述限位槽内滑动插设有与套筒底部固定连接的限位块。本技术的有益效果为：在两个管道之间设置有两个可活动的伸缩节，且两个伸缩节相对的端部通过两个法兰盘与主圆环固定在一起，进一步的，通过底座内对称设置的分别与两个副圆环相连接的两个复位机构的设置可以进一步确保两个管道相对活动时的稳定性，这样在半导体制程特种气体传输的过程中顺时的气流冲击力可以经由两个管道之间的相对活动被缓冲抵消掉，从而避免管道连接处的破裂，保证半导体制程特种气体的持续、正常输送。附图说明图1为本技术提出的一种半导体制程特种气体输送管道密封结构的主视图；图2为本技术提出的一种半导体制程特种气体输送管道密封结构的内部结构示意图。图中：1底座、2横杆、3主基座、4缓冲弹簧、5套筒、6限位块、7限位槽、8副基座、9副圆环、10管道、11伸缩节、12法兰盘、13主圆环。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。参照图1-2，一种半导体制程特种气体输送管道密封结构，包括底座1和安插在底座1内的横杆2，底座1的中部固定有套接在横杆2上的主基座3，主基座3的顶部安装有主圆环13，底座1内关于主基座3对称设置有两个复位机构，两个复位机构上均安装有副基座8，两个副基座8的顶部均安装有副圆环9，两个副圆环9内分别固定插设有管道10，两个管道10相对的一端分别通过弹性机构与主圆环13的左右两侧相连接，弹性机构包括固定在管道10端部的伸缩节11，伸缩节11远离管道10的一端固定有法兰盘12。两个相对设置的法兰盘12与主圆环13之间通过螺栓与螺母的螺纹配合得以固定。在两个管道10之间设置有两个可活动的伸缩节11，且两个伸缩节11相对的端部通过两个法兰盘12与主圆环13固定在一起。伸缩节11为铝合金制品。铝合金制品不易锈蚀且服役周期更长，从而大大延长了伸缩节11的使用寿命。复位机构包括依次套设在横杆2一端的缓冲弹簧4和套筒5，缓冲弹簧4的一端与套筒5的端面固接，缓冲弹簧4的另一端与主基座3的底部固接，副基座8固定在套筒5的顶部。底座1的内侧壁上开设有限位槽7，限位槽7内滑动插设有与套筒5底部固定连接的限位块6。本技术提出的一种半导体制程特种气体输送管道密封结构中，在两个管道10之间设置有两个可活动的伸缩节11，且两个伸缩节11相对的端部通过两个法兰盘12与主圆环13固定在一起，进一步的，通过底座1内对称设置的分别与两个副圆环9相连接的两个复位机构的设置可以进一步确保两个管道10相对活动时的稳定性，这样在半导体制程特种气体传输的过程中顺时的气流冲击力可以经由两个管道10之间的相对活动被缓冲抵消掉，从而避免管道连接处的破裂，保证半导体制程特种气体的持续、正常输送。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体制程特种气体输送管道密封结构，包括底座（1）和安插在底座（1）内的横杆（2），其特征在于，所述底座（1）的中部固定有套接在横杆（2）上的主基座（3），所述主基座（3）的顶部安装有主圆环（13），所述底座（1）内关于主基座（3）对称设置有两个复位机构，两个所述复位机构上均安装有副基座（8），两个所述副基座（8）的顶部均安装有副圆环（9），两个所述副圆环（9）内分别固定插设有管道（10），两个所述管道（10）相对的一端分别通过弹性机构与主圆环（13）的左右两侧相连接。/n

【技术特征摘要】
20191230 CN 20192243866661.一种半导体制程特种气体输送管道密封结构，包括底座（1）和安插在底座（1）内的横杆（2），其特征在于，所述底座（1）的中部固定有套接在横杆（2）上的主基座（3），所述主基座（3）的顶部安装有主圆环（13），所述底座（1）内关于主基座（3）对称设置有两个复位机构，两个所述复位机构上均安装有副基座（8），两个所述副基座（8）的顶部均安装有副圆环（9），两个所述副圆环（9）内分别固定插设有管道（10），两个所述管道（10）相对的一端分别通过弹性机构与主圆环（13）的左右两侧相连接。


2.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道密封结构，其特征在于，所述弹性机构包括固定在管道（10）端部的伸缩节（11），所述伸缩节（11）远离管道（10）的一端固定有法兰盘（12）。

【专利技术属性】
技术研发人员：汪德生，
申请(专利权)人：苏州锐泽系统工程有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32