一种半导体制程车间排气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种半导体制程车间排气系统，包括机台，所述机台通过排气管道和主排气管道连接，所述排气管道固定连接有过滤装置，所述过滤装置包括电机、过滤机构和清扫机构，所述电机的输出轴和过滤机构固定连接，所述过滤机构通过传动件和清扫机构啮合连接，所述过滤装置设有收集室。本实用新型专利技术结构简单，操作方便，设计科学合理，通过对机台和主排气管道之间的排气管道设置专用的过滤装置，有效避免机台工作过程中产生的粉尘遍布整个排气系统，降低工作人员对排气系统清理的难度，减少排气管道出现堵塞的情况，提高设备持续工作的能力，提高半导体制程的工作效率，增加经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程车间排气系统
本技术涉及半导体
，尤其涉及一种半导体制程车间排气系统。
技术介绍
随着半导体集成技术的不断更新，半导体的生产要求也在不断提高，制约半导体制程生产效率的因素之一就有机台在生产过程中产生的粉尘对排气系统造成影响，需要定期对排气系统进行维护和清理。现有技术中，半导体制程车间排气系统仅能满足机台废气的排放，无法解决废气中混杂的粉尘，导致排气系统容易受到粉尘的腐蚀和污染，需要经常性对排气系统进行清理，增加人力资源的投入，降低机台的工作效率，缩减经济效益。为此，我们提出来一种半导体制程车间排气系统解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中半导体制程车间排气系统粉尘容易污染管道的问题，而提出的一种半导体制程车间排气系统。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种半导体制程车间排气系统，包括机台，所述机台通过排气管道和主排气管道连接，所述排气管道固定连接有过滤装置，所述过滤装置包括电机、过滤机构和清扫机构，所述电机的输出轴和过滤机构固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体制程车间排气系统，包括机台（1），其特征在于，所述机台（1）通过排气管道（2）和主排气管道（3）连接，所述排气管道（2）固定连接有过滤装置（4），所述过滤装置（4）包括电机（5）、过滤机构（6）和清扫机构（7），所述电机（5）的输出轴和过滤机构（6）固定连接，所述过滤机构（6）通过传动件（8）和清扫机构（7）啮合连接，所述过滤装置（4）设有收集室（9）。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体制程车间排气系统，包括机台（1），其特征在于，所述机台（1）通过排气管道（2）和主排气管道（3）连接，所述排气管道（2）固定连接有过滤装置（4），所述过滤装置（4）包括电机（5）、过滤机构（6）和清扫机构（7），所述电机（5）的输出轴和过滤机构（6）固定连接，所述过滤机构（6）通过传动件（8）和清扫机构（7）啮合连接，所述过滤装置（4）设有收集室（9）。


2.根据权利要求1所述的一种半导体制程车间排气系统，其特征在于，所述过滤机构（6）包括转动轴（61）和过滤板（62），所述转动轴（61）和过滤板（62）固定连接，所述转动轴（61）的一端和电机（5）的输出轴固定连接，所述转动轴（61）的另一端和传动件（8）啮合连接。


3.根据权利要求2所述的一种半导体制程车间排气系统，其特征在于，所述转动轴（61）靠近传动件（8）的一端固定连接有主动锥齿轮（63），所述传动件（8）包括蜗杆（81）和从动锥齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志祥，
申请(专利权)人：苏州锐泽系统工程有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32