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本实用新型公开了一种半导体制程车间排气系统，包括机台，所述机台通过排气管道和主排气管道连接，所述排气管道固定连接有过滤装置，所述过滤装置包括电机、过滤机构和清扫机构，所述电机的输出轴和过滤机构固定连接，所述过滤机构通过传动件和清扫机构啮合连...
该专利属于苏州锐泽系统工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州锐泽系统工程有限公司授权不得商用。

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