一种制作靶材所用钢模的存放架制造技术

本实用新型专利技术提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽；所述存放架主体包括镂空基板、与镂空基板上表面连接的至少两个倒凵形限位件以及与镂空基板下表面连接的至少四个第一支撑件；相邻两个所述倒凵形限位件所在平面相互平行。所述存放架将现有技术中的模具的堆叠放置改进为竖直间隔放置，提高了存放架的利用率，并且通过在存放架主体下方设置集油槽，将钢模留下的油分进行收集，避免了油滴对地面的污染，从而消除了钢模存取过程中的安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种制作靶材所用钢模的存放架
本技术属于半导体
，涉及一种模具存放架，尤其涉及一种制作靶材所用钢模的存放架。
技术介绍
溅射靶材是制造半导体芯片所必须的一种极其重要的关键材料，利用其制作器件的原理为采用物理气相沉积技术，用高压加速气态离子轰击靶材，使靶材的原子被溅射出来，以薄膜的形式沉积在硅片上，最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。溅射靶材具有金属镀膜的均匀性、可控性等诸多优势。靶材的晶粒尺寸、晶粒取向对集成电路金属薄膜的制备以及性能存在着很大的影响，主要表现为：随着晶粒尺寸的增加，薄膜沉积速率趋于降低；在合适的晶粒尺寸范围内，靶材使用时的等离子体阻抗降低，薄膜沉积速率高且薄膜厚度均匀性好。因此，需要严格控制靶材制作时的工艺条件。以钼靶材为例，钼金属具有高熔点、高电导率、较低的比阻抗以及较好的耐磨腐蚀性和环保型等特点，钼靶材制作过程需要胶套与钢模配套使用。CN110256080A公开了一种硒化铟靶材的制作模具以及制备方法；模具包括上方开口且中空的外模和上封盖，外模形成一圆筒形的装料空间，上封盖包括与外模盖合的盖面和自盖面向上凸伸的封盖柄，封盖柄上开设有真空抽气孔，还包括设于外模内的若干石墨纸和支撑片；制备方法为：将原料硒化铟粉体放置于模具中，将粉体压实；将装好粉料的模具置于真空烧结炉内进行真空烧结；真空烧结后将模具从真空烧结炉取出，热等静压处理后得到靶材。CN207386557U公开了一种钼靶材生产用新型等静压模具，包括刚性模外套、软质内模套和软模盖，软质内模套位于刚性模外套的内腔中，软模盖将软质内模套的上端口封闭。刚性模外套、软质内模套和软模盖的密封口处依次叠加，通过刚性模盖及紧固件密封。随着磁控溅射领域对靶材的要求不断提高，制作靶材所用的胶套以及钢模的数量与重量也随之增加。现有技术中的模具存放架中，钢模需要竖直堆叠设置，上层钢模中的油分容易污染下层钢模，而下层钢模流出的油分则容易滴落至底面造成人员容易滑倒的安全隐患。而且存放架高层的搬运难度较高，钢模存取过程中容易导致安全事故的发生。例如CN207256206U公开的一种模具放置架，包括放置架主体、固定槽、档板和电动伸缩杆，所述放置架主体的两侧内部设置有滑槽，滑块上设置有固定孔，固定槽的外侧与凹槽相连接，连接架的内侧设置有凹槽，且凹槽的内部穿插有支撑架，所述支撑架的前侧和后侧分别设置固定杆和固定架，档板的底端设置有合页，电动伸缩杆的始端设置有转轴，且转轴的一侧连接有固定环。CN208593011U公开了一种方便拆卸的注塑模胚模具用烘干架，包括架体、放置板和凹槽，架体的底部与底部之间为焊接一体结构，底板的底部通过轴承与底座相连接，放置板设置在预留槽的内部上方，且放置板的顶端固定有橡胶凸块，预留槽的下方与拉扯抽板相贯穿，拉扯抽板的下方设置有电热丝。上述架体结构均存在高层不易防止钢模，且钢模内的油分无法有效控制的缺陷；对此，提供一种钢模取用方便快捷、整体利用率高，且便于钢模控油的制作靶材所用钢模的存放架，有利于消除钢模存取时给技术人员带来的安全隐患。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种制作靶材所用钢模的存放架，所述存放架将现有技术中的模具的堆叠放置改进为竖直间隔放置，提高了存放架的利用率，并且通过在存放架主体下方设置集油槽，将钢模留下的油分进行收集，避免了油滴对地面的污染，从而消除了钢模存取过程中的安全隐患。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供了一种制作靶材所用钢模的存放架，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽。所述存放架主体包括镂空基板、与镂空基板上表面连接的至少两个倒凵形限位件以及与镂空基板下表面连接的至少四个第一支撑件；相邻两个所述倒凵形限位件所在平面相互平行。本技术通过两个相邻的倒凵形限位件与镂空基板围成“凹形”结构，通过将钢模放置于“凹形”结构的凹口内达到使钢模稳定放置的目的。通过镂空基板能够使钢模留下的油滴穿过基板，流入存放架主体下方的机油槽内，从而避免了油滴对地面的污染。本技术所述倒凵形限位件与镂空基板的连接方式包括焊接、螺纹连接或卡扣连接中的任意一种；考虑到钢模的重量以及所述存放架的使用寿命，所述倒凵形限位件与镂空基板的连接方式优选为焊接。为了保证所述存放架具有足够的结构强度，所述倒凵形限位件由方钢组成，本技术不对方钢组成倒凵形限位件的方法做具体限定，本领域技术人员能够根据工艺需要进行合理地选择。优选地，所述镂空基板为镂空钢板。优选地，所述镂空基板为长方形镂空基板，长方形镂空基板的长边方向与倒凵形限位件所在平面垂直。由于现有技术中钢模的形状多为立方体形，例如CN207386557U公开的钼靶材生产用新型等静压模具。为了提高本技术所述存放架的空间利用率，且便于钢模的存取，本技术使长方形镂空基板的长度方向与倒凵形限位件所在平面垂直。优选地，所述长方形镂空基板沿长度方向设置有至少一根加强件，例如可以是1根、2根、3根、4根、5根、6根、7根、8根、9根、10根、15根或20根，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。所述长方形镂空基板沿宽度方向设置有至少一根加强件，例如可以是1根、2根、3根、4根、5根、6根、7根、8根、9根、10根、15根或20根，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。优选地，在相邻两个倒凵形限位件与镂空基板形成的凹口内，沿长方形镂空基板沿宽度方向设置有至少一根加强件。本技术所述加强件包括钢筋和/或方钢，在长方形镂空基板长度和/或宽度方向设置加强件的方法为焊接。优选地，本技术所述第一支撑件设置于镂空基板，设置方法包括螺纹连接、焊接或卡扣连接中的任意一种。本技术通过第一支撑件的设置，使集油槽能够设置于存放架主体的下方。同时，沿镂空基板长度与宽度方向设置的加强件能够保证镂空基板的强度，使其能够长时间负载钢模。优选地，所述第一支撑件为方钢制成的第一支撑件，所述第一支撑件具有统一的高度，以保证钢模能够平稳放置。优选地，相邻两个所述倒凵形限位件的两侧分别独立地连接有第二支撑件。本技术通过第二支撑件的设置，使第二支撑件起到“护栏”的作用，使放置于存放架的钢模不会在镂空基板的宽度方向发生侧滑，从而保证了钢模在镂空基板上的平稳放置。本技术相邻两个倒凵形限位件所在平面的距离根据所需放置钢模的厚度进行合理地设置，本技术在此不做具体的限定，本领域技术人员能够根据需存放钢模的实际大小进行合理地设置。优选地，所述长方形镂空基板的长度为3900-4100mm，例如可以是3900mm、3950mm、4000mm、4050mm或4100mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用；宽度为600-660mm，例如可以是600mm、610mm、620mm、630mm、640mm本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽；/n所述存放架主体包括镂空基板、与镂空基板上表面连接的至少两个倒凵形限位件以及与镂空基板下表面连接的至少四个第一支撑件；相邻两个所述倒凵形限位件所在平面相互平行。/n

【技术特征摘要】
1.一种制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述制作靶材所用钢模的存放架包括存放架主体以及放置于存放架主体下方的集油槽；
所述存放架主体包括镂空基板、与镂空基板上表面连接的至少两个倒凵形限位件以及与镂空基板下表面连接的至少四个第一支撑件；相邻两个所述倒凵形限位件所在平面相互平行。


2.根据权利要求1所述制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述镂空基板为长方形镂空基板，长方形镂空基板的长边方向与倒凵形限位件所在平面垂直。


3.根据权利要求2所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述长方形镂空基板沿长度方向设置有至少一根加强件；
所述长方形镂空基板沿宽度方向设置有至少一根加强件。


4.根据权利要求2或3所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，相邻两个所述倒凵形限位件的两侧分别独立地连接有第二支撑件。


5.根据权利要求2或3所述的制作靶材所用钢模的存放架，其特征在于，所述长方形镂空基板的长度为3900-4100mm，宽度为600...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，郭红波，潘杰，王学泽，丁跃跃，
申请(专利权)人：宁波江丰钨钼材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33