用于平面旋转结构的表面修整器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于平面旋转结构的表面修整器，包括L形修整结构；L形修整结构包括弯折相连的第一修整部和第二修整部；第一修整部和第二修整部形成有内夹角A；以及在第一修整部和第二修整部对应两者形成的外夹角的侧端面分别沿其长度方向开设有卡接槽；卡接槽用于卡接适于接触旋转结构表面的修整件。

【技术实现步骤摘要】
用于平面旋转结构的表面修整器
本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种用于平面旋转结构的表面修整器。
技术介绍
半导体器件研磨、清洗、抛光实验时，需要修整研磨平台、抛光平台和清洗平台的表面液体分布情况。由于设备自转时的离心力并不能起到很好的效果，并且有时还会造成重大影响而造成了实验失败、测量误差及样品和其他财产损失，因此针对上述情况需要设计能够便于对研磨平台、抛光平台和清洗平台等旋转结构的表面进行液体分布进行构建的结构。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于平面旋转结构的表面修整器，以解决对旋转结构的表面进行液体分布重构的技术问题。本技术的用于平面旋转结构的表面修整器是这样实现的：一种用于平面旋转结构的表面修整器，包括：L形修整结构；所述L形修整结构包括弯折相连的第一修整部和第二修整部；所述第一修整部和第二修整部形成有内夹角A；以及在所述第一修整部和第二修整部对应两者形成的外夹角的侧端面分别沿其长度方向开设有卡接槽；所述卡接槽用于卡接适于接触旋转结构表面的修整件。在本技术较佳的实施例中，所述修整件采用毛刷或刮板。在本技术较佳的实施例中，所述修整件通过连接架与所述卡接槽配接；所述连接架包括一体相连的适于卡接于所述卡接槽内的卡接块以及与所述卡接块成L形结构的用于固定修整件的连接块。在本技术较佳的实施例中，在所述连接块上沿着垂直于第一修整部和第二修整部的方向贯通有至少两条安装槽；所述修整件通过固定螺母与所述安装槽内紧固配接。在本技术较佳的实施例中，所述第一修整部和第二修整部的内部均为中空结构，且第一修整部和第二修整部的内部呈贯通结构；以及在所述第一修整部和第二修整部适于朝向旋转结构表面的底端面均匀分布有若干个与中空结构的内部连通的开孔；在所述第一修整部或者第二修整部背离旋转结构表面的顶端面开设有进口；所述进口配置有适于截止封堵进口的控制阀。在本技术较佳的实施例中，75°<A<120°。在本技术较佳的实施例中，所述用于平面旋转结构的表面修整器还包括与所述第一修整部和第二修整部的转角部固连的连接件、一端与所述连接件相连的可调节固定架，以及与所述可调固定架的另一端相连的圆周固定底座。在本技术较佳的实施例中，所述可调节固定架包括用于连接所述连接件的第一连接部，以及与所述第一连接部弯折相连的用于连接所述圆周固定底座的第二连接部；其中所述第一连接部适于与第二连接部通过紧固螺丝配接。在本技术较佳的实施例中，在所述第一连接部远离第二连接部的端部一体设有用于夹紧固定连接件的第一固定夹；以及在所述第二连接部远离第一连接部的端部一体设有用于与圆周固定底座夹紧固定的第二固定夹。在本技术较佳的实施例中，所述圆周固定底座的底端面还设有防滑胶皮垫。采用了上述技术方案，本技术具有一下的有益效果：本技术的用于平面旋转结构的表面修整器，通过弯折相连的第一修整部和第二修整部，可以对旋转结构表面的液体随着旋转结构的旋转而在离心力的作用下而移动到旋转结构的周向边沿的液体进行缓冲和收集，从而使收集到的液体进行重新排布，使之分布到需要的地方去。进一步来说，由于第一修整部和第二修整部为中空的结构，且配合在其顶端面设有的进口和在底端面设有的若干个开孔，可以对第一修整部和第二修整部的内部通入去离子水或氮气，起到对旋转结构表面的液体进行修整的同时还能达到除杂、加液或清理等效果，减少了另外的对旋转结构表面通去离子水和氮气的设备，简化了结构且降低了设备成本。再进一步来说，由于第一修整部和第二修整部通过可调节固定架与圆周固定底座相连，此时可以通过可调固定架来调整第一修整部和第二修整部的内夹角相对于圆周固定底座的朝向，从而适应不同的旋转结构的顺时针或者逆时针的旋转方向，提高整体的第一修整部和第二修整部的适用性。附图说明图1为本技术的用于平面旋转结构的表面修整器的结构示意图；图2为本技术的用于平面旋转结构的表面修整器的L形修整结构的结构示意图；图3为本技术的用于平面旋转结构的表面修整器配合旋转结构的旋转平面在顺时针旋转方向下的状态结构示意图；图4为本技术的用于平面旋转结构的表面修整器配合旋转结构的旋转平面在逆时针旋转方向下的状态结构示意图；图5为本技术的用于平面旋转结构的表面修整器的侧视结构示意图；图6为本技术的用于平面旋转结构的修整件与卡接槽的第一视角下的配合示意图；图7为本技术的用于平面旋转结构的修整件与卡接槽的第二视角下的配合示意图；图8为本技术的用于平面旋转结构的L形修整结构的卡接槽与控制阀的示意图；图9为本技术的用于平面旋转结构的可调节固定架的爆炸状态下的示意图。图中：第一修整部1、第二修整部2、卡接槽3、修整件4、卡接块6、连接块7、安装槽8、固定螺母9、连接件11、圆周固定底座12、防滑胶皮垫13、旋转平面15、第一连接部16、第二连接部17、第一固定夹18、第二固定夹19、开孔21、控制阀22。具体实施方式为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明。实施例1：请参阅图1至图9所示，本实施例提供了一种用于平面旋转结构的表面修整器，包括：L形修整结构。具体的L形修整结构包括弯折相连的第一修整部1和第二修整部2；第一修整部1和第二修整部2形成有内夹角A；以及在第一修整部1和第二修整部2对应两者形成的外夹角的侧端面分别沿其长度方向开设有卡接槽3；卡接槽3用于卡接适于接触旋转结构表面的修整件4。此处关于内夹角优选的情况是75°<A<120°，本实施例附图仅仅以90°情况为例。可选的情况下，修整件4采用毛刷或刮板，用于对旋转结构表面的液体进行修整。考虑到修整件4因为在随着旋转结构的旋转而会产生与旋转结构平面之间的摩擦，因此是易损部件，为了便于对易损部件进行更换，本实施例的修整件4通过连接架与卡接槽3配接。以一种可选的实施情况为例，连接架包括一体相连的适于卡接于卡接槽3内的卡接块6以及与卡接块6成L形结构的用于固定修整件4的连接块7。此处的修整件4可以直接通过螺栓来实现与连接块7的配接相连。此外，考虑到对修整件4相对于旋转结构的表面进行高度的调节，可选的一种方式下，在连接块7上沿着垂直于第一修整部1和第二修整部2的方向贯通有至少两条安装槽8；修整件4通过固定螺母9与安装槽8内紧固配接。即此处调整修整件4相对于安装槽8的不同位置，即可实现修整件4相对于连接块7的不同安装高度的调整。对于本实施例的L形修整结构是这样实现与旋转结构配合使用的，具体的本实施例的用于平面旋转结构的表面修整器还包括与第一修整部1和第二修整部2的转角部固连的连接件11、一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于平面旋转结构的表面修整器，其特征在于，包括：L形修整结构；/n所述L形修整结构包括弯折相连的第一修整部和第二修整部；/n所述第一修整部和第二修整部形成有内夹角A；以及/n在所述第一修整部和第二修整部对应两者形成的外夹角的侧端面分别沿其长度方向开设有卡接槽；所述卡接槽用于卡接适于接触旋转结构表面的修整件。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于平面旋转结构的表面修整器，其特征在于，包括：L形修整结构；
所述L形修整结构包括弯折相连的第一修整部和第二修整部；
所述第一修整部和第二修整部形成有内夹角A；以及
在所述第一修整部和第二修整部对应两者形成的外夹角的侧端面分别沿其长度方向开设有卡接槽；所述卡接槽用于卡接适于接触旋转结构表面的修整件。


2.根据权利要求1所述的用于平面旋转结构的表面修整器，其特征在于，所述修整件采用毛刷或刮板。


3.根据权利要求1或2任一项所述的用于平面旋转结构的表面修整器，其特征在于，所述修整件通过连接架与所述卡接槽配接；
所述连接架包括一体相连的适于卡接于所述卡接槽内的卡接块以及与所述卡接块成L形结构的用于固定修整件的连接块。


4.根据权利要求3所述的用于平面旋转结构的表面修整器，其特征在于，在所述连接块上沿着垂直于第一修整部和第二修整部的方向贯通有至少两条安装槽；
所述修整件通过固定螺母与所述安装槽内紧固配接。


5.根据权利要求4所述的用于平面旋转结构的表面修整器，其特征在于，所述第一修整部和第二修整部的内部均为中空结构，且第一修整部和第二修整部的内部呈贯通结构；以及
在所述第一修整部和第二修整部适于朝向旋转结构表面的底端面均匀分布有若干个与中空结构的内部连...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵于豪，
申请(专利权)人：常州银河世纪微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32