用于大尺寸电极的自动研磨装备制造技术

本发明专利技术公开了一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，包括研磨加工台、X轴横梁、Y轴横梁和Z轴研磨机构，X轴横梁设置在研磨加工台的左右两边，Y轴横梁滑动连接在X轴横梁上，Z轴研磨机构滑动连接在Y轴横梁上。研磨加工台上设有挡水板，挡水板连接在研磨加工台的框架上。框架包括前框架和后框架，前框架与后框架通过平衡块连接在一起。平衡块包括主平衡块和副平衡块，主平衡块焊接在前框架上，副平衡块焊接在后框架上，主平衡块与副平衡块通过并联螺栓连接在一起，主平衡块上还设有用于调节平行度的水平调节孔，水平调节孔内设有水平调整螺栓，可以起到调整平行度作用同时也能更好的把两个框架在后期工作过程中的震动吸能，使整体结构更稳定。

【技术实现步骤摘要】
用于大尺寸电极的自动研磨装备
本专利技术属于电极研磨
，具体涉及一种用于大尺寸电极的自动研磨装备。
技术介绍
CVD设备、DryEtch设备，内部核心电极部件研磨、抛光一直是液晶面板显示行业的难点，其中核心零件表面粗糙度、镜面度、平坦度，对Glass气象沉积的范围、均匀度、使用寿命，等有很大的影响，其中有一款比较特殊的产品(Susceptor见图示7)，此产品背部带一根Shaft，导致整体高度达到1.2～1.8米这对研磨固定台面要求比较高，并且在人工作业过程中很不方便。为提高我公司产品附价值，寻求新的效益增长点，解决实际难题，在依托面板厂家，组织技术人员分组实验做相关分析实验，在取得大量技术参数的基础上，选择最优化的相关数据方案得出结论定义。需要在此核心部件生产过程中专门定制一款满足可以研磨CVDChamber、DryEtchChamber设备核心零部件的大尺寸电极自动研磨装备，为了节约开发成本要求该项目大尺寸电极自动研磨装备需要满足两种核心设备零部件不同工艺的标准来执行研磨，并且通用所有大尺寸高世代线的核心产品研磨制造，达到增加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：包括研磨加工台(1)、X轴横梁(2)、Y轴横梁(3)和Z轴研磨机构(4)，所述X轴横梁(2)设置在研磨加工台(1)的左右两边，Y轴横梁(3)横跨研磨加工台(1)滑动连接在X轴横梁(2)上，Z轴研磨机构(4)滑动连接在Y轴横梁(3)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：包括研磨加工台(1)、X轴横梁(2)、Y轴横梁(3)和Z轴研磨机构(4)，所述X轴横梁(2)设置在研磨加工台(1)的左右两边，Y轴横梁(3)横跨研磨加工台(1)滑动连接在X轴横梁(2)上，Z轴研磨机构(4)滑动连接在Y轴横梁(3)上。


2.如权利要求1所述的一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：所述研磨加工台(1)上与X轴横梁(2)相邻的两条边上设有挡水板(11)，挡水板(11)与研磨加工台(1)连接的一侧设有卡扣(111)，卡扣(111)上设有安装孔，挡水板(11)通过紧固件与卡扣(111)上的安装孔配合连接在研磨加工台(1)的框架(12)上。


3.如权利要求2所述的一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：所述研磨加工台(1)包括框架(12)和工作台面(13)，工作台面(13)安装在框架(12)的上端，框架(12)的下端固定连接在地面上，框架(12)与工作台面(13)之间为焊接一体精加工成型，在工作台面(13)的四周设有溢流槽。


4.如权利要求3所述的一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：所述工作台面(13)上设有水平垫块(131)和中心垫块(132)，中心垫块(132)位于工作台面(13)的中心，水平垫块(131)布满工作台面(13)，水平垫块(131)上设有通孔，中心垫块(132)上设有中心孔，在中心孔的四周设有溢流槽。


5.如权利要求3或4所述的一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：所述框架(12)为前后对中拆分结构，框架(12)包括前框架(121)和后框架(122)，前框架(121)与后框架(122)通过平衡块(14)连接在一起。


6.如权利要求5所述的一种用于大尺寸电极的自动研磨装备，其特征在于：所述平衡块(14)包括主平衡块(141)和副平衡块(142)，主平衡块(141)焊接在前框架(121)上，副平衡块(142)焊接在后框架(122)上，主平衡块(141)与副平衡块(142)通过并联螺栓(143)连接在一起，主平衡块(141)上还设有用于调节平行度的水平调节孔，水平调节孔内设有水平调整螺栓(144)。

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【专利技术属性】
技术研发人员：金卫明，宋微，朱传兵，亓露，
申请(专利权)人：芜湖通潮精密机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34