大口径光学元件损伤在线检测装置制造方法及图纸

一种大口径光学元件损伤在线检测装置，包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统，其特点是：采用激光照明光路，由激光光源、照明平行光管和分光镜构成；所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜、接收平行光管，在接收平行光管之后同时接设有观察目镜和ＣＣＤ摄像机；激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直，且均与分光镜的表面成４５°，通过分光镜后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴；扫描系统由第一扫描反射镜和第二扫描反射镜组成；所述的ＣＣＤ摄像机和计算机组成图像处理系统。本实用新型专利技术的优点是操作简单、检测效率高、检测可靠性高，既可目视观测，又可用ＣＣＤ摄像机采集图像，可以准确地得出损伤点的尺寸和位置。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学元件检测，特别是一种大口径光学元件损伤在线检测装置，主要用于大型激光或光学装置中大口径光学元件损伤的在线检测。
技术介绍
在先技术中，对大口径光学元件损伤进行在线检测的方法，一般采用探照灯从一端照明被检光学系统，然后在另一端用肉眼观测，结构如图1所示。探照灯1发出的光线经过被检光学系统2到达人眼3，如果被检光学系统2中的光学元件没有损伤，则观测者看到的是一均匀亮视场。如果被检光学系统2中的光学元件有损伤，则会看到均匀亮视场中存在由损伤造成的暗点或亮点。上述在先技术的缺点是1、操作困难，检测效率低。人在光路中活动不方便，而且至少需要两个人同时操作。检测时间长，长时间对着探照灯观测眼睛易疲劳。2、具有很大的不确定性。所能观测到的最小损伤点的尺寸和观测者的视力和经验有关，存在着一定的主观性，且不能确定受损伤的光学元件在被检光学系统的准确位置。3、功能单一。图像不能存储，无法进行图像分析，不能确定损伤点尺寸的具体数值。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述在先技术的缺点，提供一种新的采用暗场成像技术的大口径光学元件损伤在线检测装置，以提高检测效率、准确性和后继的图像处理能力。所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大口径光学元件损伤在线检测装置，包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统，其特征在于：所述的照明光路是激光照明光路，包括激光光源（４），沿激光光源（４）发出的光束前进方向上，依次设置有照明平行光管（５）、分光镜（６ ），然后进入扫描系统：所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜（６）、接收平行光管（９），在接收平行光管（９）之后同时接设有观察目镜（１０）和ＣＣＤ摄像机（１１）；所述的激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直，且 均与分光镜（６）的表面成４５°，通过分光镜（６）后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴；扫描系统...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：任冰强，黄惠杰，张维新，赵永凯，刘丹，韩广礼，杜龙龙，王树森，路敦武，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]