【技术实现步骤摘要】
一种基于稀土氧化物闪烁体/半导体复合薄膜的X射线探测器
本技术属于光电子信息材料领域，具体涉及一种基于稀土氧化物闪烁体/半导体复合薄膜的X射线探测器。
技术介绍
基于闪烁晶体的X射线探测器，具有便携，效率高和经济等优点，在太空探测、核能源、核医学、安全稽查和工业材料检验等领域具有广泛应用前景。其中稀土氧化物是一类具有密度大,发光效率高，荧光波长可调和透明等优异性能的闪烁体。例如，Lu2O3:Eu3+的光输出效率高，它的光输出为锗酸铋晶体的10倍，掺杂的Eu3+离子发出的615nm波长的荧光能有效地耦合激发CCD图像传感器，提高X射线探测系统的探测效率。传统的技术是利用闪烁晶体将X光子转化为可见光，再激励光电倍增管产生电信号，该系统存在结构复杂，体积大和性能易受工作环境影响的限制。近年来，制备薄膜化的闪烁体与平面半导体器件结构和性能的耦合，将高能且不可见X射线通过闪烁体转换成可见荧光，激发半导体光电响应层产生可探测的光生载流子，是闪烁体射线探测器发展的主要趋势之一。如专利CN109671737A介绍的X射线成像板，通过镀膜、喷...
【技术保护点】
1.一种基于稀土氧化物闪烁体/半导体复合薄膜的X射线探测器，其特征在于，包括：/n衬底，该衬底透明导电，且能透过X射线和可见光；/n闪烁体薄膜层，包括闪烁体，能将不可见高能X射线转换成RGB可见荧光，薄膜厚度为0.3～16μm，通式为Ln
【技术特征摘要】
1.一种基于稀土氧化物闪烁体/半导体复合薄膜的X射线探测器，其特征在于，包括：
衬底，该衬底透明导电，且能透过X射线和可见光；
闪烁体薄膜层，包括闪烁体，能将不可见高能X射线转换成RGB可见荧光，薄膜厚度为0.3～16μm，通式为Ln2O3:Re3+，Ln2O3表示稀土氧化物，Ln是Lu、La和Y中的一种，Re3+表示掺杂稀土离子且掺杂摩尔百分比为0.5～15％，包括Eu3+，Tb3+和Tm3+中的一种，所述闪烁体薄膜层在所述衬底的导电面由含稀土元素的前体电解液通过电沉积再通过中低温退火结晶形成；
光电探测薄膜，包括在闪烁体薄膜层背离所述衬底的一面通过掩膜版蒸镀形成的金属叉指电极，和电沉积在的金属叉指电极间的光电响应半导体，所述光电响应半导体将RGB可见荧光转换成响应电流，并通过金属叉指电极导出。
2.根据权利要求1所述的基于稀土氧化物闪烁体/半导体复合薄膜的X射线探测器，其特征在于，所述衬底背离所述闪烁体薄膜层的一面还附着一层能透过X射线并反射RGB可见荧光的铝膜。
3....
【专利技术属性】
技术研发人员：李岳彬，陶敏，陈思琦，柳维端，王成，李根，胡永明，顾豪爽，
申请(专利权)人：湖北大学，
类型：新型
国别省市：湖北;42
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