光配向设备以及光配向方法技术

本发明专利技术提供了一种光配向设备以及光配向方法。通过设置可转动反射镜，以利用可转动反射镜实现投射出的光束的扫描范围能够覆盖整个基板。因此，在执行光配向时，并不需要移动基板或偏振光发生装置，有效提高了光配向过程中的稳定性，从而有利于提高光配向精度。并且，由于基板在光配向时不需要移动，相应的不需要预留基板台横向移动的空间，从而可以进一步减小光配向设备的体积和质量。

【技术实现步骤摘要】
光配向设备以及光配向方法
本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种光配向设备及光配向方法。
技术介绍
液晶显示器(LCD)通常包括两个基板(阵列基板TFT，彩膜基板CF)、两个基板之间的液晶层以及两个基板外侧的偏光板。在液晶显示技术中，通过施加电压使液晶层中产生电场，进而改变液晶分子的扭转角度，并配合上下基板外侧的两个偏光板，从而产生图像显示。为保证图像的显示效果，需使液晶分子有一个初始取向方向，因此在基板上设置有配向膜层，通过对配向膜层的表面进行定向以控制液晶分子的排布方向并使其排布方向一致，进而获取均一的显示效果。目前，对配向膜的取向处理可采用光配向工艺，即利用偏振光发生装置发出规定波长的偏振光，并照射在配向膜上，使得与偏振光的偏振轴方向一致或垂直的配向膜发生光致反应，例如光致交联、光致分解或光致异构，进而使配向膜产生各向异性，并利用其所产生的定向锚定能诱导液晶分子按照一定角度统一取向。在一种传统的光配向设备中，是将形成有配向膜的基板放置在一可移动的基板台上。在执行光配向时，使基板台沿着预定方向移动，从而使偏振光发生装置发出的偏振光可以扫描整个基板，进而能够对整个基板进行光配向。然而，这种光配向设备，不仅需要为基板台的移动提供更大的空间，从而导致光配向设备的体积庞大且质量大，并且在光配向过程中，由于基板台的移动会存在较大抖动，进而影响光配向精度。此外，基板台的运行轨道还会长期受到光照的影响，影响光配向质量。或者，在现有的另一种光配向设备中，使偏振光发生装置可以沿着预定方向移动以扫描整个基板。然而，在光配向过程中，偏振光发生装置的移动仍然不可以避免的会存在震动，并且偏振光发生装置可直接对光配向光路造成影响，因此在光配向过程中，偏振光发生装置的稳定性至关重要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光配向设备，以解决现有的光配向设备体积和质量较大，并且在光配向过程中震动大的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种光配向设备，包括：至少一个基板台，用于承载基板；偏振光发生装置，用于发出偏振光；以及，至少一个可转动反射镜，用于反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并且在对基板进行光配向时，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。可选的，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜，所述第一可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第一部分上，所述第二可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第二部分上。可选的，所述偏振光发生装置设置在所述基板台的上方并对应在所述基板台的中间区域，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜分别配置在所述偏振光发生装置的两侧。可选的，所述光配向设备还包括：分光镜，由所述偏振光发生装置发出的偏振光经由所述分光镜拆分为两束偏振光束，所述两束偏振光束分别发射至所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜。可选的，所述分光镜用于使部分偏振光反射以形成第一偏振光束，所述第一偏振光束进一步发射至所述第一可转动反射镜，并使另一部分偏振光折射以形成第二偏振光束，并且所述第二偏振光束进一步发射至所述第二可转动反射镜。可选的，所述光配向设备还包括第一检偏组件和第二检偏组件，所述第一检偏组件用于检测由所述第一可转动反射镜反射出的光束，所述第二检偏组件用于检测由所述第二可转动反射镜反射出的光束。可选的，所述光配向设备还包括：检偏组件，用于检测由所述可转动反射镜反射出的光束。可选的，所述光配向设备还包括：第一固定导轨，所述检偏组件安装在所述第一固定导轨上，在执行检偏操作的过程中，所述检偏组件随着所述可转动反射镜的转动而沿着所述第一固定导轨移动，以使所述检偏组件的检测面从所述基板台的上方移动并感应由所述可转动反射镜反射出的光束。可选的，所述光配向设备还包括：对准组件，用于检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置。可选的，所述光配向设备具有两个基板台，所述可转动反射镜反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并交替投射至两个所述基板台。可选的，所述光配向设备还包括：第二固定导轨，所述偏振光发生装置安装在所述第二固定导轨上，并沿着所述第二固定导轨在所述两个基板台的上方交替移动。另外，本专利技术还提供了一种光配向方法，包括：提供如权利要求1所述的光配向设备，并上载基板至基板台上；以及，利用偏振光发生装置发出偏振光，并使所述偏振光经由可转动反射镜反射至所述基板上，以执行光配向操作；并且，在执行光配向过程中，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。可选的，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜；以及，在执行光配向操作时，所述第一可转动反射镜反射光束至所述基板的第一部分，所述第二可转动反射镜反射光束至所述基板的第二部分。可选的，执行光配向操作时，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜同时转动，以同时对基板的第一部分和第二部分进行光配向。可选的，在将基板上载至所述基板台之前，所述光配向方法还包括：利用检偏组件执行第一检偏操作，以检测由所述可转动反射镜反射出的光束；以及，根据所述第一检偏操作的检偏结果，调整所述偏振光发生装置的出光面与所述基板台之间的平行度。可选的，在所述第一检偏操作的过程中，所述检偏组件随着所述可转动反射镜的转动而相应的移动，以使所述检偏组件的检测面从所述基板台的上方移动并感应由所述可转动反射镜反射出的光束。可选的，在所述第一检偏操作中，所述检偏组件的检测面位置与基板台上基板的板面位置齐平。可选的，在将基板上载至所述基板台上之后，以及执行光配向操作之前，还包括：利用对准组件检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置。可选的，在将基板上载至所述基板台上之后，以及执行光配向操作之前，还包括：利用检偏组件执行第二检偏操作，以检测由所述可转动反射镜反射出的光束；以及，根据所述第二检偏操作的检偏结果，调整所述基板台的位置。可选的，所述光配向设备具有两个基板台，以及在执行所述光配向操作时，所述可转动反射镜将光束投射至其中一个基板台上，并对另一个基板台执行基板的上载和/或下载操作。可选的，执行所述光配向操作的步骤包括：将基板上载至第一基板台上，并利用所述可转动反射镜将光束投射至位于所述第一基板台上的基板，同时对第二基板台执行基板的上载和/或下载操作；以及，利用所述可转动反射镜将光束投射至位于所述第二基板台上的基板，并同时对所述第一基板台上完成光配向的基板执行下载操作，以及将未配向的基板上载至所述第一基板台上。可选的，对所述基板执行光配向操作的方法包括：将所述基板以第一方向上载至所述基板台上，并执行第一光配向过程；以及，将所述基板以相反的第二方向上载至所述基板台上，并执行第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光配向设备，其特征在于，包括：/n至少一个基板台，用于承载基板；/n偏振光发生装置，用于发出偏振光；以及，/n至少一个可转动反射镜，用于反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并且在对基板进行光配向时，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。/n

【技术特征摘要】
1.一种光配向设备，其特征在于，包括：
至少一个基板台，用于承载基板；
偏振光发生装置，用于发出偏振光；以及，
至少一个可转动反射镜，用于反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并且在对基板进行光配向时，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。


2.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜，所述第一可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第一部分上，所述第二可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第二部分上。


3.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述偏振光发生装置设置在所述基板台的上方并对应在所述基板台的中间区域，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜分别配置在所述偏振光发生装置的两侧。


4.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
分光镜，由所述偏振光发生装置发出的偏振光经由所述分光镜拆分为两束偏振光束，所述两束偏振光束分别发射至所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜。


5.如权利要求4所述的光配向设备，其特征在于，所述分光镜用于使部分偏振光反射以形成第一偏振光束，所述第一偏振光束进一步发射至所述第一可转动反射镜，并使另一部分偏振光折射以形成第二偏振光束，并且所述第二偏振光束进一步发射至所述第二可转动反射镜。


6.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括第一检偏组件和第二检偏组件，所述第一检偏组件用于检测由所述第一可转动反射镜反射出的光束，所述第二检偏组件用于检测由所述第二可转动反射镜反射出的光束。


7.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
检偏组件，用于检测由所述可转动反射镜反射出的光束。


8.如权利要求7所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
第一固定导轨，所述检偏组件安装在所述第一固定导轨上，在执行检偏操作的过程中，所述检偏组件随着所述可转动反射镜的转动而沿着所述第一固定导轨移动，以使所述检偏组件的检测面从所述基板台的上方移动并感应由所述可转动反射镜反射出的光束。


9.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
对准组件，用于检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置。


10.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备具有两个基板台，所述可转动反射镜反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并交替投射至两个所述基板台。


11.如权利要求10所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
第二固定导轨，所述偏振光发生装置安装在所述第二固定导轨上，并沿着所述第二固定导轨在所述两个基板台的上方交替移动。


12.一种光配向方法，其特征在于，包括：
提供如权利要求1所述的光配向设备，并上载基板至基板台上；以及，
利用偏振光发生装置发出偏振光...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏礼俊，刘晓，李玉龙，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31