一种DOE装置制造方法及图纸

本申请公开了一种DOE装置。DOE装置包括：罩壳组件，罩壳组件上设有通光筒；转盘，设于罩壳组件内，转盘上设有固定DOE组件及转动DOE组件，转盘能绕第一轴线转动以选择性地使固定DOE组件或转动DOE组件与通光筒对准；转动DOE组件能在转盘上绕第二轴线转动以调节照明模式，第二轴线与第一轴线平行。本申请设置了能转动的转盘来切换不同的DOE组件与通光筒对准，实现照明模式的调节；DOE组件中的转动DOE组件可以在转盘上转动来调节照明模式，减少了DOE镜片的数量。

【技术实现步骤摘要】
一种DOE装置
本技术涉及光刻机
，尤其涉及一种DOE装置。
技术介绍
半导体制造中的微光刻技术就是利用光学系统把掩膜版上的图形精确地投影曝光到涂过光刻胶的硅片上，光刻过程使用的设备为光刻机。为了进一步增强光刻机的曝光系统的分辨能力，提高焦深，增大工艺窗口，在扫描曝光系统中已广泛采取了离轴照明技术(Off-AxisIllumination，OAI)。离轴照明包括环形照明、二级照明和四级照明等，不同的照明模式光瞳分布不同，需要根据具体的掩膜图形来选择不同的离轴照明光瞳分布，也就是选择不同的照明模式。传统的离轴照明中，为了实现多种照明模式，二级和四级照明需定制相同参数不同角度的多个DOE(DiffractionOpticalElement，衍射光学元件)镜片，不仅增加了设备成本，且二级和四级照明的DOE镜片较多，安装后也增大了设备的体积，使设备结构不够精简。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种DOE装置，以解决现有技术中离轴照明的二级和四级照明DOE镜片较多，成本较高，且设备体积较大的问题。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种DOE装置，其中，包括：罩壳组件，所述罩壳组件上设置有通光筒；转盘，设于所述罩壳组件(20)内，所述转盘上设置有固定DOE组件及转动DOE组件，所述转盘能绕第一轴线(101)转动以选择性地使所述固定DOE组件或所述转动DOE组件与所述通光筒对准；所述转动DOE组件能在所述转盘上绕第二轴线转动以调节照明模式，所述第二轴线与所述第一轴线平行。在本技术一种可选的实施方式中，所述DOE装置还包括：底座，所述罩壳组件设于所述底座上；第一驱动组件，设于所述底座，且与所述转盘连接，能驱动所述转盘绕所述第一轴线转动。第二驱动组件，设于所述转盘上并与所述转动DOE组件连接，能驱动所述转动DOE组件绕所述第二轴线转动。在本技术一种可选的实施方式中，所述第二驱动组件包括：第一电机，固设于所述转盘上；主动轮，与所述第一电机的输出轴连接；同步带，套设于所述主动轮上，用于连接至所述转动DOE组件。在本技术一种可选的实施方式中，所述转动DOE组件包括：同步带轮单元，设于所述转盘上，并与所述同步带连接，能在所述同步带的带动下绕所述第二轴线转动；DOE镜组，设于所述同步带轮单元上，能跟随所述同步带轮单元转动；第一检测单元，用于检测所述DOE镜组的零位及转动角度。在本技术一种可选的实施方式中，所述同步带轮单元包括：轴承，设于所述转盘上；轴承座，能将所述轴承支撑在所述转盘上；同步带轮，与所述轴承座连接，并连接至所述同步带，以使所述同步带轮在所述同步带的带动下绕所述第二轴线转动。在本技术一种可选的实施方式中，所述第一检测单元包括：光栅尺支座，设于所述同步带轮上；光栅尺，设于所述光栅尺支座上；光栅尺读数头，设于所述转盘上，能读出所述光栅尺上的刻度；零位感应块，设于所述光栅尺支座边缘；零位传感器，固设于所述转盘上，用于感应所述零位感应块，以将所述转动DOE组件调整至零位。在本技术一种可选的实施方式中，所述第二驱动组件包括：第二电机，固设于所述转盘上，所述第二电机为空心轴电机。在本技术一种可选的实施方式中，所述转动DOE组件包括：DOE镜组，设于所述第二电机的输出轴上，并设于所述第二电机的空心中；第二检测单元，用于检测所述DOE镜组的转动角度。在本技术一种可选的实施方式中，所述第二检测单元包括：光栅尺转接架，设于所述第二电机的输出轴上，并设于所述DOE镜组外围；光栅尺，设于所述光栅尺转接架上；光栅尺读数头，设于所述转盘上，能读出所述光栅尺上的刻度；零位感应块，设于所述光栅尺转接架边缘；零位传感器，固设于所述转盘上，用于感应所述零位感应块，以将所述转动DOE组件调整到零位。在本技术一种可选的实施方式中，所述第二电机与所述转动DOE组件分别安装于所述转盘沿所述第二轴线方向的异侧；所述转动DOE组件还包括：垫块，垫设于所述第二电机输出轴的末端，以使所述第二电机的输出轴能穿过所述转盘与异侧的所述转动DOE组件连接。在本技术一种可选的实施方式中，所述第二驱动组件还包括：安装支架，所述第一电机安装于所述安装支架上；调节单元，设于所述转盘上，且与所述安装支架连接，能调节所述安装支架相对于所述转动DOE组件的距离。在本技术一种可选的实施方式中，所述调节单元包括：调节座以及穿设于所述调节座上的调节螺栓；其中，所述调节螺栓的自由端与所述安装支架螺纹连接，以调节所述安装支架相对于所述转动DOE组件的距离，从而调节所述同步带的张紧程度。在本技术一种可选的实施方式中，所述转动DOE组件为两个，两个所述转动DOE组件分别为离轴照明的二级照明组件和四级照明组件。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本申请设置了能转动的转盘，转盘上设置了若干DOE组件，转动转盘，即可切换不同的DOE组件与通光筒对准，实现照明模式的调节；另外，转盘上的DOE组件包括了固定DOE组件及转动DOE组件，转动DOE组件又可以在转盘上转动，使得转动DOE组件中的DOE镜组的角度发生改变，从而改变照明模式，这样通过转动DOE组件的转动实现DOE镜组角度的变化，从而实现照明模式的调节，避免了需要在转盘上设置较多不同角度的DOE镜组，减少了DOE镜片的数量，降低了成本，另外也精简了设备的结构，使设备更轻便，适用于更多的应用场景。附图说明图1是本技术中DOE装置实施例的结构示意图；图2是本技术图1的另一视角的结构示意图；图3是本技术图2中转盘的结构示意图；图4是本技术图3的局部剖视图；图5是本技术图4中A部分的放大图；图6是本技术中转动DOE组件与第二驱动组件装配的另一实施例的结构示意图。图中：100-DOE装置；10-底座；20-罩壳组件；30-第一驱动组件；40-转盘；50-第二驱动组件；60-支撑件；21-通光筒；41-固定DOE组件；42-转动DOE组件；51-第一电机；52-主动轮；53-同步带；54-安装支架；55-调节单元；56-第二电机；421-同步带轮单元；422-DOE镜组；423-垫块；551-调节座；552-调节螺栓；4211-轴承；4212-轴承座；4213-同步带轮；4231-光栅尺支座；4232-光栅尺；4233-光栅尺读数头；4234-零位感应块；4235-零位传感器；4241-光栅尺转接架；4242-压板；101-第一轴线；102-第二轴线。具体实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种DOE装置，其特征在于，包括：/n罩壳组件(20)，所述罩壳组件(20)上设置有通光筒(21)；/n转盘(40)，设于所述罩壳组件(20)内，所述转盘(40)上设置有固定DOE组件(41)及转动DOE组件(42)，所述转盘(40)能绕第一轴线(101)转动以选择性地使所述固定DOE组件(41)或所述转动DOE组件(42)与所述通光筒(21)对准；/n所述转动DOE组件(42)能在所述转盘(40)上绕第二轴线(102)转动以调节照明模式，所述第二轴线(102)与所述第一轴线(101)平行。/n

【技术特征摘要】
1.一种DOE装置，其特征在于，包括：
罩壳组件(20)，所述罩壳组件(20)上设置有通光筒(21)；
转盘(40)，设于所述罩壳组件(20)内，所述转盘(40)上设置有固定DOE组件(41)及转动DOE组件(42)，所述转盘(40)能绕第一轴线(101)转动以选择性地使所述固定DOE组件(41)或所述转动DOE组件(42)与所述通光筒(21)对准；
所述转动DOE组件(42)能在所述转盘(40)上绕第二轴线(102)转动以调节照明模式，所述第二轴线(102)与所述第一轴线(101)平行。


2.根据权利要求1所述的DOE装置，其特征在于，所述DOE装置还包括：
底座(10)，所述罩壳组件(20)设于所述底座(10)上；
第一驱动组件(30)，设于所述底座(10)，且与所述转盘(40)连接，能驱动所述转盘(40)绕所述第一轴线(101)转动；
第二驱动组件(50)，设于所述转盘(40)上并与所述转动DOE组件(42)连接，能驱动所述转动DOE组件(42)绕所述第二轴线(102)转动。


3.根据权利要求2所述的DOE装置，其特征在于，所述第二驱动组件(50)包括：
第一电机(51)，固设于所述转盘(40)上；
主动轮(52)，与所述第一电机(51)的输出轴连接；
同步带(53)，套设于所述主动轮(52)上，用于连接至所述转动DOE组件(42)。


4.根据权利要求3所述的DOE装置，其特征在于，所述转动DOE组件(42)包括：
同步带轮单元(421)，设于所述转盘(40)上，并与所述同步带(53)连接，能在所述同步带(53)的带动下绕所述第二轴线(102)转动；
DOE镜组(422)，设于所述同步带轮单元(421)上，能跟随所述同步带轮单元(421)转动；
第一检测单元，用于检测所述DOE镜组(422)的零位及转动角度。


5.根据权利要求4所述的DOE装置，其特征在于，所述同步带轮单元(421)包括：
轴承(4211)，设于所述转盘(40)上；
轴承座(4212)，能将所述轴承(4211)支撑在所述转盘(40)上；
同步带轮(4213)，与所述轴承座(4212)连接，并连接至所述同步带(53)，以使所述同步带轮(4213)在所述同步带(53)的带动下绕所述第二轴线(102)转动。


6.根据权利要求5所述的DOE装置，其特征在于，所述第一检测单元包括：
光栅尺支座(4231)，设于所述同步带轮(4213)上；
光栅尺(4232)，设于所述光栅尺支座(4231)上；
光栅尺读数头(4233)，设于所述转盘(40)上，能读出所述光栅尺(4232)上的刻度；
零位感应块(4234)，设于所述光栅尺...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄清清，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31