一种干冰喷砂辅助工装制造技术

本实用新型专利技术是一种干冰喷砂辅助工装，包括下安装座和位于下安装座正上方的上安装座，其特征在于，所述下安装座上固接有下固定座，所述上安装座底部固接有与所述下固定座对应的上固定座。本实用新型专利技术结构简单合理，使用便捷，通过提供一种干冰喷砂辅助工装，便于固定部件，保证了部件在干冰喷砂过程中不会发生位移，使得部件中的每个小孔可以彻底清洁干净，通过设置安有上外缘放置槽的上固定座，以及安有下外缘放置槽的下固定座，可以保护部件外缘密封面不被干冰砂砾损坏，清洗过程中减少了碰伤部件的情况，此外，通过在上支柱和下支柱上分别设置上滑轮孔和下滑轮孔，便于安装塑料滑轮，防止了部件之间的摩擦损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种干冰喷砂辅助工装
本技术涉及喷砂辅助装置
，尤其涉及一种干冰喷砂辅助工装。
技术介绍
半导体设备中的蚀刻机台是常用刻蚀装置，其中，机台中的部件因结构中有许多小孔结构，在清洗过程中需要使用干冰喷砂工艺。然而，当前在对机台中的部件进行清洗过程中通常没有专用辅助工装，不便于干冰喷砂作业，部件在干冰喷砂过程中会发生位移，使得部件中的每个小孔清洁不干净，在清洗过程中易碰伤部件，而且部件外缘密封面易被干冰砂砾损坏。
技术实现思路
本技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种干冰喷砂辅助工装。本技术为实现上述目的，采用以下技术方案：一种干冰喷砂辅助工装，包括下安装座和位于下安装座正上方的上安装座，其特征在于，所述下安装座上固接有下固定座，所述下固定座的左右两端设有对应的下支柱，所述下支柱竖直固接在所述下安装座上，所述下固定座上设有呈弧形结构的下外缘放置槽，左右所述下支柱上设有对应的下滑轮孔，所述上安装座底部固接有与所述下固定座对应的上固定座，所述上固定座的左右两端设有对应的上支柱，所述上支柱竖直固接在所述上安装座上并且与所述下支柱一一对应，所述上固定座上设有呈弧形结构的上外缘放置槽，所述上外缘放置槽与所述下外缘放置槽对应设置，左右所述上支柱上设有对应的上滑轮孔，所述下支柱的内壁和所述上支柱的内壁上均设有固定槽，上下所述固定槽分别与所述上外缘放置槽、所述下外缘放置槽相连通，所述下支柱上的固定槽与所述下滑轮孔连通，所述上支柱上的固定槽与所述上滑轮孔连通，所述下支柱的顶端和所述上支柱的底部安有连接机构。所述下安装座和所述上安装座均呈长方体结构设置。所述连接机构包括固接在所述下支柱顶端和所述上支柱底部对应的固定板，上下所述固定板上对应设有安装孔，所述安装孔内设有螺栓，上下所述固定板之间通过所述螺栓配合螺母可拆卸安装。所述下支柱和所述上支柱均采用特氟龙支柱。所述下固定座和所述上固定座均采用特氟龙固定座。本技术的有益效果是：本技术结构简单合理，使用便捷，通过提供一种干冰喷砂辅助工装，便于固定部件，保证了部件在干冰喷砂过程中不会发生位移，使得部件中的每个小孔可以彻底清洁干净，通过设置安有上外缘放置槽的上固定座，以及安有下外缘放置槽的下固定座，可以保护部件外缘密封面不被干冰砂砾损坏，清洗过程中减少了碰伤部件的情况，此外，通过在上支柱和下支柱上分别设置上滑轮孔和下滑轮孔，便于安装塑料滑轮，防止了部件之间的摩擦损伤。附图说明图1为本技术的立体图；图中：1-下安装座；2-下支柱；3-下固定座；4-下外缘放置槽；5-固定槽；6-固定板；7-螺栓；8-上支柱；9-上滑轮孔；10-上安装座；11-上固定座；12-上外缘放置槽；13-下滑轮孔；以下将结合本技术的实施例参照附图进行详细叙述。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明：如图1所示，一种干冰喷砂辅助工装，包括下安装座1和位于下安装座1正上方的上安装座10，其特征在于，所述下安装座1上固接有下固定座3，所述下固定座3的左右两端设有对应的下支柱2，所述下支柱2竖直固接在所述下安装座1上，所述下固定座3上设有呈弧形结构的下外缘放置槽4，左右所述下支柱2上设有对应的下滑轮孔13，所述上安装座10底部固接有与所述下固定座3对应的上固定座11，所述上固定座11的左右两端设有对应的上支柱8，所述上支柱8竖直固接在所述上安装座10上并且与所述下支柱2一一对应，所述上固定座11上设有呈弧形结构的上外缘放置槽12，所述上外缘放置槽12与所述下外缘放置槽4对应设置，左右所述上支柱8上设有对应的上滑轮孔9，所述下支柱2的内壁和所述上支柱8的内壁上均设有固定槽5，上下所述固定槽5分别与所述上外缘放置槽12、所述下外缘放置槽4相连通，所述下支柱2上的固定槽5与所述下滑轮孔13连通，所述上支柱8上的固定槽5与所述上滑轮孔9连通，所述下支柱2的顶端和所述上支柱8的底部安有连接机构。所述下安装座1和所述上安装座10均呈长方体结构设置。所述连接机构包括固接在所述下支柱2顶端和所述上支柱8底部对应的固定板6，上下所述固定板6上对应设有安装孔，所述安装孔内设有螺栓7，上下所述固定板6之间通过所述螺栓7配合螺母可拆卸安装。所述下支柱2和所述上支柱8均采用特氟龙支柱。所述下固定座3和所述上固定座11均采用特氟龙固定座。本技术在进行干冰喷砂作业前，将部件竖直放入量身设计的固定槽5、下外缘放置槽4和上外缘放置槽12中，可以保护部件外缘密封面不被干冰砂砾损坏，清洗过程中减少了碰伤部件的情况，通过螺栓7配合螺母将上下固定板6固定，将部件固定在干冰喷砂辅助工装上，再进行干冰喷砂作业，保证了部件在干冰喷砂过程中不会发生位移，使得部件中的每个小孔可以彻底清洁干净，此外，通过在上支柱8和下支柱2上分别设置上滑轮孔9和下滑轮孔13，便于安装塑料滑轮，防止了部件之间的摩擦损伤，本技术结构简单合理，使用便捷。上面结合附图对本技术进行了示例性描述，显然本技术具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干冰喷砂辅助工装，包括下安装座(1)和位于下安装座(1)正上方的上安装座(10)，其特征在于，所述下安装座(1)上固接有下固定座(3)，所述下固定座(3)的左右两端设有对应的下支柱(2)，所述下支柱(2)竖直固接在所述下安装座(1)上，所述下固定座(3)上设有呈弧形结构的下外缘放置槽(4)，左右所述下支柱(2)上设有对应的下滑轮孔(13)，所述上安装座(10)底部固接有与所述下固定座(3)对应的上固定座(11)，所述上固定座(11)的左右两端设有对应的上支柱(8)，所述上支柱(8)竖直固接在所述上安装座(10)上并且与所述下支柱(2)一一对应，所述上固定座(11)上设有呈弧形结构的上外缘放置槽(12)，所述上外缘放置槽(12)与所述下外缘放置槽(4)对应设置，左右所述上支柱(8)上设有对应的上滑轮孔(9)，所述下支柱(2)的内壁和所述上支柱(8)的内壁上均设有固定槽(5)，上下所述固定槽(5)分别与所述上外缘放置槽(12)、所述下外缘放置槽(4)相连通，所述下支柱(2)上的固定槽(5)与所述下滑轮孔(13)连通，所述上支柱(8)上的固定槽(5)与所述上滑轮孔(9)连通，所述下支柱(2)的顶端和所述上支柱(8)的底部安有连接机构。/n...

【技术特征摘要】
1.一种干冰喷砂辅助工装，包括下安装座(1)和位于下安装座(1)正上方的上安装座(10)，其特征在于，所述下安装座(1)上固接有下固定座(3)，所述下固定座(3)的左右两端设有对应的下支柱(2)，所述下支柱(2)竖直固接在所述下安装座(1)上，所述下固定座(3)上设有呈弧形结构的下外缘放置槽(4)，左右所述下支柱(2)上设有对应的下滑轮孔(13)，所述上安装座(10)底部固接有与所述下固定座(3)对应的上固定座(11)，所述上固定座(11)的左右两端设有对应的上支柱(8)，所述上支柱(8)竖直固接在所述上安装座(10)上并且与所述下支柱(2)一一对应，所述上固定座(11)上设有呈弧形结构的上外缘放置槽(12)，所述上外缘放置槽(12)与所述下外缘放置槽(4)对应设置，左右所述上支柱(8)上设有对应的上滑轮孔(9)，所述下支柱(2)的内壁和所述上支柱(8)的内壁上均设有固定槽(5)，上下所述固定槽(5)分别与所述上外缘放置槽(12)、所述下外缘放置槽(4)相连通，所述下支...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，张代龙，马有杰，贺贤汉，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12