【技术实现步骤摘要】
硅片竖向吸片装置及其送片装置
本技术涉一种硅片送料装置，尤其是硅片竖向吸片装置及其送片装置。
技术介绍
在硅片生产中，切割好的硅片清洗后因为水的张力粘结在一起，需要将硅片分离成单片，因此产生了分片机，但是目前采用的分片机通过水刀将浸没在水里的硅片分片，分片后的硅片通过平带将从水里带出到变向平带上，变向平带将硅片从竖直状态变成水平状态后输送给水平的输送带。平带与硅片接触时硅片处于接近竖直的状态，硅片通过水的张力粘贴在平带上，平带将硅片带出水槽，但是由于张力不稳定，造成送料不连续，因此增加了吸片装置，但是现有的吸片装置虽然增加了吸力，使硅片能够稳定的吸附在平带上，但是吸力不易控制，吸力过大造成碎片，吸力过小导致硅片吸附不稳定硅片掉落，由于硅片较薄，因此在较大的吸力或掉落时容易破裂，因此碎片率较高，同时连续工作的稳定性较差，工作效率不高，需要人员值守。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种硅片吸附稳定，能将硅片以竖直状态从水中稳定提升到变向平带上，无需工人值守，连续运行的稳定性好，并且不易碎片的硅片竖向吸片...
【技术保护点】
1.硅片竖向吸片装置，其特征在于，包括/n吸片盘，所述吸片盘的前端面设有吸片导轨和吸片减压槽，所述吸片导轨对称设有两个，所述吸片导轨的顶面为圆弧面，所述吸片导轨的顶面设有吸片槽，所述吸片槽为腰形槽，且沿吸片导轨的长度方向设置，所述吸片减压槽位于两个吸片导轨之间，所述吸片盘的后端面设有汇流槽，所述汇流槽与吸片槽相通；/n后封板，所述后封板固定在吸片盘的后端面，所述后封板用于密封汇流槽，所述后封板上设有吸水孔，所述吸水孔与吸片槽相通。/n
【技术特征摘要】
1.硅片竖向吸片装置，其特征在于，包括
吸片盘，所述吸片盘的前端面设有吸片导轨和吸片减压槽，所述吸片导轨对称设有两个，所述吸片导轨的顶面为圆弧面，所述吸片导轨的顶面设有吸片槽，所述吸片槽为腰形槽，且沿吸片导轨的长度方向设置，所述吸片减压槽位于两个吸片导轨之间，所述吸片盘的后端面设有汇流槽，所述汇流槽与吸片槽相通；
后封板，所述后封板固定在吸片盘的后端面，所述后封板用于密封汇流槽，所述后封板上设有吸水孔，所述吸水孔与吸片槽相通。
2.根据权利要求1所述的硅片竖向吸片装置，其特征在于，所述汇流槽的底部均为圆弧角。
3.根据权利要求1所述的硅片竖向吸片装置，其特征在于，所述汇流槽包括
纵向槽，所述纵向槽沿吸片导轨设置，且与吸片槽相通；
横向槽，所述横向槽与纵向槽垂直，且相通，所述横向槽的轴线与吸片槽的中心线重合，所述横向槽的宽度小于纵向槽的长度。
4.硅片竖向送片装置，其特征在于，包括
权利要求1所述的硅片竖向吸片装置；
吸片架，所述硅片竖向吸片装置安装在吸片架上；
吸片主动轴，所述吸片主动轴转动安装在吸片架的顶部；
吸片主动带轮，所述吸片主动带轮固定在吸片主动轴上；
吸片从动轴，所述吸片从动轴转动安...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘真，李思波，郭进，
申请(专利权)人：无锡喆创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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