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本实用新型涉一种硅片送料装置，尤其是硅片竖向吸片装置，包括吸片盘，所述吸片盘的前端面设有吸片导轨和吸片减压槽，所述吸片导轨对称设有两个，所述吸片导轨的顶面为圆弧面，所述吸片导轨的顶面设有吸片槽，所述吸片槽为腰形槽，且沿吸片导轨的长度方向设置...
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