一种用于双面显影的工装制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于双面显影的工装，包括底板，所述底板为长方体结构，其中，所述底板的四个顶角均设置支撑板，所述支撑板为阶梯状结构，所述支撑板包括支撑台和限位台，所述支撑台位于下层，所述限位台位于上层。本实用新型专利技术提供的一种用于双面显影的工装通过设置在底板四个顶点的支撑板对需要处理的基片进行支撑，使得中部需要进行显影的部位处于悬空状态，平放在烧杯或平盘内，只用较少的显影液，就可以实现比较理想的双面显影，且不会因为片子晃动而造成背面划伤。

【技术实现步骤摘要】
一种用于双面显影的工装
本技术属于基片加工
，具体涉及一种用于双面显影的工装。
技术介绍
双面金锡的氮化铝热沉，需要双面涂胶，双面曝光，同时显影；双面电镀。常规的显影方法是将片子侧立于烧杯中晃动烧杯显影，烧杯中需要倒入大量显影液，液面需要浸没基片，或将片子平放通过滚轴移送基片，传送过程中上下喷洒显影液显影，但设备比较贵，且浪费显影液，综合成本较高。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供了一种用于双面显影的工装，包括底板，所述底板为长方体结构，其中，所述底板的四个顶角均设置支撑板，所述支撑板为阶梯状结构，所述支撑板包括支撑台和限位台，所述支撑台位于下层，所述限位台位于上层，所述支撑板可以对需要进行显影处理的基片的四个顶角进行支撑。优选的是，所述支撑台为支撑板的横截面为长方形。在上述任一方案中优选的是，所述支撑台的横截面为长方形。在上述任一方案中优选的是，所述限位台的横截面为L形。在上述任一方案中优选的是，所述底板和支撑板均由聚四氟乙烯材质制成，由于聚四氟乙烯材质的质地较软，因此聚四氟乙烯材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于双面显影的工装，包括底板，所述底板为长方体结构，其特征在于，所述底板的四个顶角均设置支撑板，所述支撑板为阶梯状结构，所述支撑板包括支撑台和限位台，所述支撑台位于下层，所述限位台位于上层。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于双面显影的工装，包括底板，所述底板为长方体结构，其特征在于，所述底板的四个顶角均设置支撑板，所述支撑板为阶梯状结构，所述支撑板包括支撑台和限位台，所述支撑台位于下层，所述限位台位于上层。


2.根据权利要求1所述的一种用于双面显影的工装，其特征在于，所述支撑台为支撑板的横截面为长方形。

【专利技术属性】
技术研发人员：智云涛，表军，韩建栋，
申请(专利权)人：石家庄海科电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13