一种荧光Ｘ射线分析装置，该荧光Ｘ射线分析装置包括： 向试样照射１次Ｘ射线的Ｘ射线源； 测定从试样产生的２次Ｘ射线的强度的检测机构； 算出机构，该算出机构根据假定的元素的浓度，计算由试样中的各元素产生的２次Ｘ射线的理论强度，按照该理论强度和通过上述检测机构测定的测定强度一致的方式，对上述假定的元素的浓度进行最佳化计算，算出试样的元素的浓度； 其特征在于上述算出机构针对不测定荧光Ｘ射线的非测定元素，假定多个非测定元素的浓度，并且代替从试样中的非测定元素产生的２次Ｘ射线，采用其数量至少与假定浓度的非测定元素相同的１次Ｘ射线的散射线，所采用的１次Ｘ射线的散射线包含用试样散射之前的波长不同的散射线。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过FP法分析试样的组成、面积密度的荧光X射线分析装置和其所采用的程序。
技术介绍
在过去，具有采用基本参数法(在下面称为“FP法”)分析试样的组成、面积密度的荧光X射线分析装置。在FP法的场合，根据已假定的元素的浓度，计算由试样中的各元素产生的2次X射线的理论强度，按照理论强度和通过检测机构测定的测定强度一致的方式，逐渐近似地修正计算上述假定的元素的浓度，算出试样中元素的浓度。在这里，不测定氧、碳等的荧光X射线的元素(为因强度小、吸收造成的衰减也大，实际上无法测定荧光X射线的元素，在下面称为“非测定元素”)通常作为残留成分而处理，但是，像污泥、焚烧灰、生物体试样等那样，包含很多非测定元素，无法指定其原子序数的试样成为问题。与此相关，包括有申请号为JP特愿2004-251785的申请中记载的技术。在该技术中，针对非测定元素，假定平均原子序数，相应的2次X射线采用散射线，按照理论强度和测定强度一致的方式，逐渐近似地修正计算假定的平均原子序数。
技术实现思路
但是，在试样包含由多个非测定元素(比如，C、H)形成的非测定成分(比如，C、H2)的场合，如果针对非测定成分假定平均原子序数，将其作为由单一的元素形成的成分处理，则非测定成分的质量吸收系数、弹性散射截面积、非弹性散射截面积等仅为原子序号中相邻任意2个轻元素的各数值之间的数值，在多数场合不为实际的值。其结果是，无法正确地算出试样中元素的浓度。为了改善该问题，在上述申请号为JP特愿2004-251785的申请中还记载有下述内容，即，针对非测定元素中氢以外的元素，假定平均原子序数，作为相应的2次X射线使用散射线，对于氢，假定其浓度，作为相应的2次X射线使用另一散射线，按照理论强度和测定强度一致的方式逐渐近似地修正计算假定的平均原子序号和假定的氢的浓度。但是，即使通过该改善措施，仍无法消除上述问题。另外，由于测定信息不足，故还具有因假定的数值的初始值，即使在理论强度和测定强度一致的情况下，试样中元素的浓度收敛在偏离实际值的数值，仍无法正确地算出的另一问题。即，在上述申请号为JP特愿2004-251785的申请记载的技术中，具有包含很多非测定元素，无法充分而正确地分析无法指定其原子序号的各种试样的情况。本专利技术是针对这样的问题而提出的，本专利技术的目的在于提供一种通过FP法分析试样的组成、面积密度的荧光X射线分析装置和该装置所采用的程序，该装置包含很多非测定元素，可针对无法指定其原子序数的各种试样，在更宽的适合范围内充分而正确地进行分析。为了实现上述目的，本专利技术的第1方案涉及一种荧光X射线分析装置，该荧光X射线分析装置包括向试样照射1次X射线的X射线源；测定从试样产生的2次X射线的强度的检测机构；算出机构，该算出机构根据假定的元素的浓度，计算由试样中的各元素产生的2次X射线的理论强度，按照该理论强度和通过上述检测机构测定的测定强度一致的方式，对上述假定的元素的浓度进行最佳化计算，算出试样中元素的浓度；其特征在于上述算出机构针对不测定荧光X射线的非测定元素，假定多个非测定元素的浓度，并且代替从试样中的非测定元素产生的2次X射线，采用其数量至少与假定浓度的非测定元素相同的1次X射线的散射线，所采用的1次X射线的散射线包含用试样散射之前的波长不同的散射线。按照该第1方案的装置，由于对非测定元素不假定平均原子序号，而假定多个非测定元素的浓度，故质量吸收系数、弹性散射截面积、非弹性散射截面积等可为实际的值。另外，采用其数量至少与非测定元素相同的1次X射线的散射线，所采用的1次X射线的散射线包含用试样散射之前的波长不同的散射线，故测定信息也不会不足。因此，针对包含很多非测定元素、无法指定其原子序号的各种试样，可在更宽的适合范围内充分而正确地分析。在第1方案的装置中，最好上述算出机构在还改变假定上述浓度的非测定元素的组合的同时，进行上述最佳化计算。另外，最好作为上述1次X射线的散射线采用1次X射线的特性X射线的散射线。另外，上述X射线源也可包括X射线管和1次X射线滤波器，该1次X射线滤波器可在由上述X射线管产生的X射线的光路中进退，通过将该1次X射线滤波器用作透射型的2次靶，改变向试样照射的1次X射线的波长。本专利技术的第2方案涉及一种程序，其用于将上述第1方案的装置所具有的计算机用作上述算出机构。同样通过本专利技术的第2方案的程序，可获得与上述第1方案的装置相同的作用效果。附图说明图1为表示本专利技术的一个实施例的荧光X射线分析装置的示意图；图2为表示该装置的动作的流程图。具体实施例方式下面根据附图，对本专利技术的一个实施例的荧光X射线分析装置进行描述。像图1所示的那样，本装置包括试样台8，在该试样台8上放置有试样13；X射线源1，该X射线源1对试样13照射1次X射线2；检测机构9，该检测机构9测定从试样13产生的荧光X射线、散射线等的2次X射线4的强度。该检测机构9由分光元件5和检测器7构成，该分光元件5对从试样13产生的2次X射线4进行分光处理，该检测器7针对每个已分光处理的2次X射线6测定其强度。另外，也可不采用分光元件5，而将能量分辨率较高的检测器用作检测机构。另外，包括算出机构10，该算出机构10根据假定的元素的浓度，计算由试样13中的各元素产生的2次X射线4的理论强度，按照该理论强度和通过检测机构9测定的测定强度相一致的方式，对假定的元素的浓度进行最佳化计算，算出试样13中元素的浓度。该算出机构10针对不测定荧光X射线4的非测定元素，假定多个非测定元素的浓度，并且代替从试样13中的非测定元素产生的2次X射线，而采用其数量至少与假定浓度的非测定元素相同的1次X射线的散射线4，所采用的1次X射线的散射线4包括用试样13散射之前的波长不同的散射线4。在这里，在本实施例的装置中，算出机构10还在改变假定上述浓度的非测定元素的组合的同时，进行上述最佳化计算，作为1次X射线的散射线4，采用1次X射线的特性X射线的散射线4。X射线源1包括比如，铑靶X射线管11、由锆等形成的多个1次X射线滤波器12、1次X射线滤波器交换机构14，该1次X射线滤波器交换机构14使上述多个1次X射线滤波器12在从X射线管11产生的X射线的光路中进退。上述1次X射线滤波器交换机构14在图中以示意方式示出，但是，比如通过脉冲马达，使沿周向设置材质或厚度不同的多个1次X射线滤波器12的圆板旋转，选择位于X射线管11和试样13之间的X射线光路的1次X射线滤波器12，还沿圆板的周向设置没有1次X射线滤波器12的单纯的孔，由此，还可使1次X射线滤波器12相对X射线管11和试样13之间的X射线光路引退。即，1次X射线滤波器交换机构14还具有使1次X射线滤波器12相对X射线管11产生的X射线的光路进退的功能。这样的机构的X射线源也可设置于过去的荧光X射线分析装置中，但是，1次X射线滤波器专门用于从X射线管产生的X射线中，去除作为1次X射线的不需要的波长的X射线。但是，在本实施例的装置中，X射线源1将1次X射线滤波器12用作透射型的2次靶，由此，改变照射给试样13的1次X射线2的波长。为此，至少1个1次X射线滤波器12包含作为不同于X射线管11的靶材的元素，通过来自X射线管11的特性X射线激励的元素。比如，将由本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：河原直树，原真也，堂井真，
申请(专利权)人：理学电机工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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