振动器件、电子设备以及移动体制造技术

提供振动器件、电子设备以及移动体，能够降低不必要振动。振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：振动元件，其具有沿与A轴和B轴平行的平面且沿A轴弯曲振动的第一振动臂和第二振动臂；以及支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，所述支承基板具有：基部，其支承所述振动元件；支承部，其支承所述基部；以及梁部，其连接所述基部与所述支承部，在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。

【技术实现步骤摘要】
振动器件、电子设备以及移动体
本专利技术涉及振动器件、电子设备以及移动体。
技术介绍
专利文献1记载的振动元件具有：振动体；第一支承部和第二支承部，它们支承振动体，并固定于封装等；连接振动体与第一支承部的一对梁部；以及连接振动体与第二支承部的一对梁部。专利文献1：日本特开2017-194485号公报然而，在上述振动元件中，必须以穿过振动体的空隙的方式形成梁部，因此梁部的形状受到制约。因此，不必要振动的频率设计受到制约，从而难以实现不必要振动得到充分抑制的振动元件。
技术实现思路
本应用例的振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：振动元件，其具有沿与所述A轴和所述B轴平行的平面且沿所述A轴弯曲振动的振动臂；以及支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，所述支承基板具有：基部，其支承所述振动元件；支承部，其支承所述基部；以及梁部，其连接所述基部与所述支承部，在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。在本应用例的振动器件中，优选在设所述梁部沿所述A轴弹性变形的弹簧常数为Ka，设所述梁部沿所述B轴弹性变形的弹簧常数为Kb时，Ka＞Kb，在从沿所述C轴的方向俯视时，所述支承部具有相对于所述振动元件位于沿所述A轴的一侧的第一支承部以及相对于所述振动元件位于沿所述A轴的另一侧的第二支承部。在本应用例的振动器件中，优选在从沿所述C轴的方向俯视时，所述支承部具有相对于所述振动元件位于沿所述B轴的一侧的第一支承部以及相对于所述振动元件位于沿所述B轴的另一侧的第二支承部。在本应用例的振动器件中，优选所述振动元件具有：元件基部；检测臂，其从所述元件基部沿所述B轴朝向两侧延伸；第一连结臂，其从所述元件基部沿所述A轴延伸，第二连结臂，其从所述元件基部沿所述A轴向所述第一连结臂延伸的方向的相反侧延伸；以及所述振动臂，其包含第一振动臂和第二振动臂，该第一振动臂从所述第一连结臂的末端部沿所述B轴朝向两侧延伸，该第二振动臂从所述第二连结臂的末端部沿所述B轴朝向两侧延伸，所述元件基部经由接合部件固定于所述基部。在本应用例的振动器件中，优选所述驱动频率f1下的所述振动元件沿所述B轴振动的移位振幅倍率小于0.8。在本应用例的振动器件中，优选所述振动元件具有振动基板以及配置于所述振动基板的电极，所述振动基板和所述支承基板由相同切角的石英基板构成。在本应用例的振动器件中，优选在从沿所述C轴的方向俯视时，所述支承基板与所述振动臂重叠。在本应用例的振动器件中，优选所述振动元件是检测物理量的物理量传感器元件。本应用例的电子设备的特征在于，其具备：上述振动器件；以及信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号进行信号处理。本应用例的移动体的特征在于，其具备：上述振动器件；以及信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号进行信号处理。附图说明图1是示出第一实施方式的振动器件的剖视图。图2是示出图1的振动器件的俯视图。图3是示出图1的振动器件所具有的振动元件的俯视图。图4是对图3的振动元件的驱动进行说明的示意图。图5是对图3的振动元件的驱动进行说明的示意图。图6是示出图1所示的振动器件所具有的支承基板的俯视图。图7是示出频率比f1/fd与驱动频率f1下的不必要振动的移位振幅倍率(gain)的关系的曲线图。图8是示出频率比f1/fd＝1时的f0/f1与驱动频率f1下的不必要振动的移位振幅倍率(gain)的关系的曲线图。图9是示出第二实施方式的振动器件的俯视图。图10是示出第三实施方式的振动器件所具有的支承基板的俯视图。图11是示出第四实施方式的个人计算机的立体图。图12是示出第五实施方式的移动电话的立体图。图13是示出第六实施方式的数字静态照相机的立体图。图14是示出第七实施方式的汽车的立体图。标号说明1：振动器件；10：振动结构体；100：振动系统；2：封装；21：基座；211：凹部；211a、211b、211c：凹部；22：盖；23：接合部件；241、242：内部端子；243：外部端子；3：电路元件；4：支承基板；40：基部；41：支承部；411：第一支承部；412：第二支承部；42：梁部；421：弯曲部；43：梁部；431：弯曲部；44：梁部；441：弯曲部；45：梁部；451：弯曲部；46：基部；47：支承部；471：第一支承部；472：第二支承部；48：梁部；481：框部；482：第一梁部；483：第二梁部；5：布线；511、512：端子；513：引出布线；521、522：端子；523：引出布线；531、532：端子；533：引出布线；541、542：端子；543：引出布线；551、552：端子；553：引出布线；561、562：端子；563：引出布线；6：振动元件；7：振动基板；70：元件基部；701～706：端子；71：检测臂；711：宽幅部；72：检测臂；721：宽幅部；73：第一连结臂；74：第二连结臂；75：驱动臂；751：宽幅部；76：驱动臂；761：宽幅部；77：驱动臂；771：宽幅部；78：驱动臂；781：宽幅部；8：电极；81：驱动信号电极；82：驱动接地电极；83：第一检测信号电极；84：第一检测接地电极；85：第二检测信号电极；86：第二检测接地电极；1100：个人计算机；1102：键盘；1104：主体部；1106：显示单元；1108：显示部；1110：信号处理电路；1200：移动电话；1202：操作按钮；1204：听筒；1206：话筒；1208：显示部；1210：信号处理电路；1300：数字静态照相机；1302：壳体；1304：受光单元；1306：快门按钮；1308：存储器；1310：显示部；1312：信号处理电路；1500：汽车；1502：系统；1510：信号处理电路；B1、B2：接合部件；BW：键合线；D、E：箭头；J1、J2：中心轴线；O4：中心；Q1～Q3：曲线；S：内部空间；f0：共振频率；f1：驱动频率；fd：频率；ωc：角速度。具体实施方式以下，根据附图所示的实施方式对本应用例的振动器件、电子设备以及移动体进行详细说明。＜第一实施方式＞图1是示出第一实施方式的振动器件的剖视图。图2是示出图1的振动器件的俯视图。图3是示出图1的振动器件所具有的振动元件的俯视图。图4和图5是对图3的振动元件的驱动进行说明的示意图。图6是示出图1所示的振动器件所具有的支承基板的俯视图。图7是示出频率比f1/fd与驱动频率f1下的不必要振动的移位振幅倍率(gain)的关系的曲线图。图8是示出频率比f1/fd＝1时的f0/本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动器件，其特征在于，/n该振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，所述振动结构体具有：/n振动元件，其具有沿与所述A轴和所述B轴平行的平面并且沿所述A轴弯曲振动的振动臂；以及/n支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，/n所述支承基板具有：/n基部，其支承所述振动元件；/n支承部，其支承所述基部；以及/n梁部，其连接所述基部与所述支承部，/n在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，/nf0＜f1。/n

【技术特征摘要】
20190325 JP 2019-0574471.一种振动器件，其特征在于，
该振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，所述振动结构体具有：
振动元件，其具有沿与所述A轴和所述B轴平行的平面并且沿所述A轴弯曲振动的振动臂；以及
支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，
所述支承基板具有：
基部，其支承所述振动元件；
支承部，其支承所述基部；以及
梁部，其连接所述基部与所述支承部，
在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，
f0＜f1。


2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，
在设所述梁部沿所述A轴弹性变形的弹簧常数为Ka，设所述梁部沿所述B轴弹性变形的弹簧常数为Kb时，
Ka＞Kb，
在从沿所述C轴的方向俯视时，
所述支承部具有相对于所述振动元件位于沿所述A轴的一侧的第一支承部以及相对于所述振动元件位于沿所述A轴的另一侧的第二支承部。


3.根据权利要求1所述的振动器件，其中，
在从沿所述C轴的方向俯视时，
所述支承部具有相对于所述振动元件位于沿所述B轴的一侧的第一支承部以及位于沿所述B轴的另一侧的第二支承部。


4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的振动器件，其中，
所述振动元件具有：
元件基部；
检测臂，其从所述元件基部沿所述B轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：西泽龙太，小仓诚一郎，山口启一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP